[实用新型]一种用于泡沫镍生产的高效节能型高真空获取设备

说明书

（一）技术领域

本实用新型涉及泡沫镍生产领域，特别涉及一种用于泡沫镍生产的高效节能型高真空获取设备。

（二）背景技术

泡沫镍是一种具有海绵状三维多孔结构的金属镍材料，连续泡沫镍的规模化生产开始于21世纪初，是一种应用领域广泛的新技术材料。泡沫镍可用于镍氢电池、燃料电池的电极材料，汽车催化剂转换器、 催化燃烧、柴油车黑烟净化器的催化剂载体，可用作过滤器材料，处理流体中磁性粒子的磁流导体，用于储氢媒介、热交换媒介。

泡沫镍产品的生产流程为模芯导电化处理、电沉积、氧化还原、分切包装。模芯导电化处理工序产品的质量直接影响到最终泡沫镍产品的多项物理化学性能，是泡沫镍生产的关键工序。

模芯导电化处理可采用真空磁控溅射镀镍、化学镀镍或浸涂导电胶的方法。真空磁控溅射镀镍工艺具有产品纯度高、无污染，成品阻值均匀等显著优势，在泡沫镍生产中已逐步替代化学镀镍和浸涂导电胶工艺。

用于连续泡沫镍生产的模芯导电化处理过程的真空磁控溅射过程要在10^-1Pa高真空环境下进行，并且通有一定量的氩气，模芯材料也有一定的放气量。为了保证生产效率与运行成本符合规模化生产的需求，这就要求真空磁控溅射设备具有将真空度在较短时间内（小于10分钟）由10⁵Pa提升至5×10⁰Pa的高效的抽空速率的真空获取系统，同时又具有顺利抽出生产过程中溅射时的气体释放、氩气的通入和模芯材料放气，保持N×10^-1Pa真空度的低能耗真空维持系统。

目前国内用于泡沫镍生产的真空镀设备真空获取系统普遍采用由滑阀泵、罗茨泵与扩散泵组成，为能够满足高效抽空速率的要求滑阀泵、罗茨泵的配置功率很高。一般容积在10m³的真空室获取设备配置两套H-150滑阀泵和ZJP-1200罗茨泵，其功率分别为15kw和11kw。在真空度达到生产要求后继续用上述设备来维持生产过程真空度。由于体系真空度维持过程对滑阀泵、罗茨泵能力要求显著降低，造成真空维持过程设备能力严重过剩，造成较大能源浪费。

（三）发明内容

本实用新型为了弥补现有技术的缺陷，提供了一种既能保证设备真空体系获取过程抽空效率，又能降低真空体系维持过程的低能耗的用于泡沫镍生产的高效节能型高真空获取设备。

本实用新型是通过如下技术方案实现的：

一种用于泡沫镍生产的高效节能型高真空获取设备，包括真空室及分别与真空室连接的两个扩散泵，其特征是：每个扩散泵依次连接一个罗茨泵和一个旋片泵；所述真空室还与第一罗茨泵和第二罗茨泵分别连接，第一罗茨泵和第二罗茨泵又分别与一个滑阀泵连接。

本实用新型的有益效果是：

本实用新型既能保证设备真空体系获取过程抽空效率，又能降低真空体系维持过程的能耗。

（四）附图说明

下面结合附图对本实用新型作进一步的说明。

图1为本实用新型的俯视结构示意图。

图中，1 真空室，2扩散泵，3罗茨泵，4旋片泵，5第一罗茨泵，6第二罗茨泵，7滑阀泵。

（五）具体实施方式

附图为本实用新型的具体实施例。如图1所示，该种用于泡沫镍生产的高效节能型高真空获取设备，包括真空室1，真空室1两侧分别连接一个扩散泵2，每个扩散泵2依次连接一个罗茨泵3和一个旋片泵4；真空室1两侧还分别与第一罗茨泵5和第二罗茨泵6连接，第一罗茨泵5和第二罗茨泵6又分别与一个滑阀泵7连接，该处使用的第一罗茨泵5和第二罗茨泵6的型号为ZJP1200，滑阀泵7的型号为H-150。

设备刚开始运行时，滑阀泵7工作，然后启动第一罗茨泵5和第二罗茨泵6，这样可以实现快速抽空；当真空度达到小于5Pa时，排气量已经很少，这时开启扩散泵2，关闭滑阀泵7、第一罗茨泵5和第二罗茨泵6，在生产效能不变的情况下实现节能降耗。

节电效果分析如下：

原配置生产过程中电机消耗：

（15+11）×2=52（kw），每小时耗电52kwh。

增加维持系统后生产过程中电机消耗：

5.2×2=10.4（kw），每小时耗电8kwh。

由此可以得出每小时节电量：52-10.4=41.6（kwh）

除说明书所述技术特征外，其余技术特征均为本领域技术人员已知技术。