[实用新型]一种用于泡沫镍生产的高效节能型高真空获取设备有效
| 申请号： | 201320861669.0 | 申请日： | 2013-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN203754801U | 公开（公告）日： | 2014-08-06 |
| 发明（设计）人： | 毕研文;王乃用;刘俊林;宋小斌;李伟;江衍勤;孟国强;田利 | 申请（专利权）人： | 菏泽天宇科技开发有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 济南泉城专利商标事务所 37218 | 代理人： | 张贵宾 |
| 地址： | 274032 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 泡沫 生产 高效 节能型 真空 获取 设备 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于泡沫镍生产的高效节能型高真空获取设备，包括真空室（1）及分别与真空室（1）连接的两个扩散泵（2），其特征是：每个扩散泵（2）依次连接一个罗茨泵（3）和一个旋片泵（4）；所述真空室（1）还与第一罗茨泵（5）和第二罗茨泵（6）分别连接，第一罗茨泵（5）和第二罗茨泵（6）又分别与一个滑阀泵（7）连接。
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