[实用新型]一种多晶制绒进液装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池生产技术领域。

背景技术

随着社会资源的日益枯竭，可再生能源的应用受到越来越多的关注。作为可再生能源的一部分，太阳能应用正迅速发展。太阳能光伏发电依靠晶体硅太阳能电池，但光伏发电成本高，制约着太阳能电池的广泛应用，因此，提高光电转换效率，降低成本成为普遍发展的趋势。现有的办法是在硅片表面制作绒面以达到降低表面反射率的目的。

制绒是对硅片表面进行各向同性腐蚀，形成微沟，降低硅片表面的反射率，促使太阳光在硅片表面进行多级反射，提升光的利用率，在太阳能电池制备工艺中，制绒是关系到太阳能电池表面光吸收的重要工序，也是提高太阳能电池转换效率的重要途径之一。在制绒工序中，需要药液的不断循环和更新，实现对硅片表面的腐蚀，从而在硅片表面形成一层绒面，具体工艺流程是：药液在循环泵的动力下从药液槽经进液管路注入刻蚀槽，对硅片进行腐蚀制绒，然后从出液管流回药液槽，循环进行，完成制绒。现有制绒设备，进液管路是在总进液管上设置一排支进液管，由于支进液管在刻蚀槽内所处的位置不同，造成刻蚀槽内各支进液管的进液量有所不同，而且，由于药液在循环过程中需要不断补充更新以满足制绒要求，因此，最终导致刻蚀槽内的药液更新不均，刻蚀槽内较深处的药液比浅处的药液更新少，药液温度也相对较高，较高的药液温度会加快与硅片表面的反应速度，从而造成硅片刻蚀深度不均匀，刻蚀质量差，难以达到质量标准。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种多晶制绒进液装置，能够解决因进液管进液不均而造成的刻蚀槽内药液不均的问题，有效降低硅片刻蚀偏差，提高硅片刻蚀的均匀性，提高制绒质量。

为解决上述技术问题，本实用新型所采取的技术方案是：一种多晶制绒进液装置，包括总进液管和与总进液管连通的支进液管，所述总进液管通过管道与循环泵的出液口连通，所述循环泵的进液口与药液槽通过管道连通，药液槽与刻蚀槽通过管道连通，所述支进液管安装在刻蚀槽内，还包括与支进液管连通的喷淋盒，所述喷淋盒为封闭的长方壳体结构，所述支进液管连通于喷淋盒一侧壁的中部，在与支进液管相对的喷淋盒的另一侧壁上均布有若干喷淋口。

优选的，所述支进液管为两根，包括第一支进液管和第二支进液管，分别布设于喷淋盒的两端。

进一步的，所述第一支进液管布设于距喷淋盒一端1/4的位置，第二支进液管布设于距喷淋盒另一端1/4的位置。

所述喷淋口呈一条波浪线形沿喷淋盒一侧壁的长度方向均布。

所述喷淋口也可分为若干组，每组至少两行两列，所述若干组喷淋口一字排开沿喷淋盒一侧壁的长度方向均布。

所述支进液管与喷淋盒均水平布设，且支进液管与喷淋盒垂直连通。

所述喷淋盒也可为两端封闭的直管结构。

采用上述技术方案所产生的有益效果在于：本装置是对现有技术的改进，通过支进液管把药液送入喷淋盒内，使药液从两路流入喷淋盒，喷淋盒对进入的药液起缓冲均衡的作用，然后通过若干均布的喷淋口，把药液注入刻蚀槽，从而解决了现有技术中进液流量不均的问题，使刻蚀槽内的药液均匀，温度均衡，硅片表面反应速度均匀，进而降低硅片刻蚀偏差，提高硅片刻蚀的均匀性和制绒质量。

附图说明

图1是本实用新型的主视图；

图2是本实用新型实施例一的左视图；

图3是本实用新型实施例二的左视图；

图4是本实用新型的结构原理示意图；

图中标记：1-总进液管；2-支进液管；21-第一支进液管；22-第二支进液管；3-喷淋盒；4-刻蚀槽；5-药液槽；6-循环泵；7-喷淋口。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。

实施例一