[实用新型]一种多晶制绒进液装置

权利要求书

1.一种多晶制绒进液装置，包括总进液管（1）和与总进液管（1）连通的支进液管（2），所述总进液管（1）通过管道与循环泵（6）的出液口连通，所述循环泵（6）的进液口与药液槽（5）通过管道连通，药液槽（5）与刻蚀槽（4）通过管道连通，所述支进液管（2）安装在刻蚀槽（4）内，其特征在于：还包括与支进液管（2）连通的喷淋盒（3），所述喷淋盒（3）为封闭的长方壳体结构，所述支进液管（2）连通于喷淋盒（3）一侧壁的中部，在与支进液管（2）相对的喷淋盒（3）的另一侧壁上均布有若干喷淋口（7）。

2.根据权利要求1所述的一种多晶制绒进液装置，其特征在于：所述支进液管（2）为两根，包括第一支进液管（21）和第二支进液管（22），分别布设于喷淋盒（3）的两端。

3.根据权利要求2所述的一种多晶制绒进液装置，其特征在于：所述第一支进液管（21）布设于距喷淋盒（3）一端1/4的位置，第二支进液管（22）布设于距喷淋盒（3）另一端1/4的位置。

4.根据权利要求3所述的一种多晶制绒进液装置，其特征在于：所述喷淋口（7）呈一条波浪线形沿喷淋盒（3）一侧壁的长度方向均布。

5.根据权利要求3所述的一种多晶制绒进液装置，其特征在于：所述喷淋口（7）分为若干组，每组至少两行两列，所述若干组喷淋口（7）一字排开沿喷淋盒（3）一侧壁的长度方向均布。

6.根据权利要求1至5中任一权利要求所述的一种多晶制绒进液装置，其特征在于：所述支进液管（2）与喷淋盒（3）均水平布设，且支进液管（2）与喷淋盒（3）垂直连通。

7.根据权利要求1所述的一种多晶制绒进液装置，其特征在于：所述喷淋盒（3）也可为两端封闭的直管结构。