[实用新型]一种湿法刻蚀机刻蚀装置有效
| 申请号： | 201320833748.0 | 申请日： | 2013-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN203782235U | 公开（公告）日： | 2014-08-20 |
| 发明（设计）人： | 胡伟;叶成枝;肖冠华;杨子衡;吴代吾;侯智 | 申请（专利权）人： | 合肥京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/08 | 分类号： | C23F1/08 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 李迪 |
| 地址： | 230012 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 湿法 刻蚀 装置 | ||
1.一种湿法刻蚀机刻蚀装置，包括供液总管道与至少两组同心矩形管道，其特征在于：每组矩形管道均经由一供液支管连接至供液总管，并通过可旋转弯头固定在支撑架上，矩形管道上均布多个喷淋装置。
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：各供液支管上设有计量阀门。
3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：所述矩形管道的对称轴位置上设有至少一根可驱动所有矩形管道的连杆。
4.根据权利要求1或3所述的装置，其特征在于：所述喷淋装置包括自矩形管道垂直向下延伸的喷淋管及设于喷淋管末端的喷嘴，喷淋管的长度相等，或自矩形管道的中心向外依次递增或递减。
5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：每组矩形管道在四个角上均设置可旋转弯头，矩形管道下方对角线位置交叉设有两根支撑架，矩形管道上方的对称轴位置设有两根可驱动所有矩形管道的连杆。
6.根据权利要求1或3所述的装置，其特征在于：所述矩形管道为3～8组等距设置的同心矩形管道。
7.根据权利要求6所述的装置，其特征在于：所述矩形管道为4组等距设置的同心矩形管道。
8.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：所述可旋转弯头为内部连通且带有选择接头的弯道弯头。
9.根据权利要求1或3所述的装置，其特征在于，所述装置连有控制元件，驱动连杆使喷淋装置轴向摆动。
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