[实用新型]成膜装置

权利要求书

1.一种成膜装置，其特征在于，包括：

载物台、支架、涂覆构件、位移计以及膜厚控制机构；

所述载物台用于放置基材；

所述涂覆构件包括泵和与所述泵相连的喷嘴；

所述涂覆构件以所述喷嘴对着所述载物台的方式支承在所述支架上，并能够在所述支架上调整位置；

所述位移计用于检测所述喷嘴与从所述喷嘴涂覆于所述基材的膜的被涂覆面之间的距离，和/或测定所述膜的厚度；

所述膜厚控制机构用于控制所涂覆的所述膜的厚度。

2.根据权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，所述位移计为激光位移计。

3.根据权利要求1或2所述的成膜装置，其特征在于，所述成膜装置还包括：

标记形成装置，其用于在所述基材上形成对准标记；以及

对准装置，其用于根据所述对准标记进行对准。

4.根据权利要求3所述的成膜装置，其特征在于，所述标记形成装置为冲头，所述冲头冲压所述基材形成所述对准标记；

所述对准装置为照相机。

5.根据权利要求4所述的成膜装置，其特征在于，

所述对准标记形成在所述基材的沿涂覆方向的两侧。

6.根据权利要求3所述的成膜装置，其特征在于，所述成膜装置还包括测向装置，用于确认所述喷嘴的运行方向。

7.根据权利要求6所述的成膜装置，其特征在于，所述测向装置为照相机。

8.根据权利要求1或2所述的成膜装置，其特征在于，所述载物台为吸附式载物台。

9.根据权利要求1或2所述的成膜装置，其特征在于，所述载物台的平坦度在1500mm的涂覆行程中保持在50μm以下。

10.根据权利要求1或2所述的成膜装置，其特征在于，所述成膜装置还包括夹设于所述泵与所述喷嘴之间的混合器。

11.根据权利要求10所述的成膜装置，其特征在于，所述泵为蛇形泵，所述混合器为静态混合器。

12.一种成膜装置，其特征在于，包括：

载物台、支架、涂覆构件、标记形成装置以及对准装置，其中，

所述载物台用于放置基材；

所述涂覆构件包括泵和与所述泵相连的喷嘴，所述涂覆构件以喷嘴对着所述载物台的方式设置在所述支架上，并能够在所述支架上调整位置；

所述标记形成装置用于在所述基材上形成对准标记；

所述对准装置用于根据所述对准标记进行对准。

13.根据权利要求12所述的成膜装置，其特征在于，所述标记形成装置为冲头，所述冲头冲压所述基材形成所述对准标记；

所述对准装置为照相机。

14.根据权利要求12或13所述的成膜装置，其特征在于，所述对准标记形成在所述基材的沿涂覆方向的两侧。

15.根据权利要求12或13中任一项所述的成膜装置，其特征在于，所述成膜装置还包括测向装置，用于确认所述喷嘴的运行方向。

16.根据权利要求15所述的成膜装置，其特征在于，所述测向装置为照相机。

17.根据权利要求12或13所述的成膜装置，其特征在于，所述载物台为吸附式载物台。

18.根据权利要求12或13所述的成膜装置，其特征在于，所述载物台的平坦度在1500mm的涂覆行程中保持在50μm以下。

19.根据权利要求12或13所述的成膜装置，其特征在于，所述成膜装置还包括夹设于所述泵与所述喷嘴之间的混合器。

20.根据权利要求19所述的成膜装置，其特征在于，所述泵为蛇形泵，所述混合器为静态混合器。