[实用新型]一种具有快速对准功能的新型纳米压印设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种纳米压印设备，特别涉及一种具有快速对准功能的新型纳米压印设备。

背景技术

目前，所使用的纳米压印设备主要由传动装置、加热装置、压印装置、真空装置和相关电气装置等组装而成。将贴合好的模板和基板放置于传动装置上，该传动装置其实是一可活动的平台，传动装置将贴合好的模板和基板送入到压印腔中，加热装置开始加热，真空装置将压印腔形成压力差，通过工艺的调整将图形转移到压印胶上。

但是，目前的纳米压印设备仅能实现简单的压印功能，且需要人工去辅助，如将贴合好的模板和基板放置于传动装置上，工作效率不高；并且在需要实现多层图像套刻压印的时候，没有对准机构的压印设备无法实现，目前的纳米压印设备显然并不能满足这一要求。

实用新型内容

本实用新型的目的就是针对上述问题，提供一种可以实现多层图像套刻压印且工作效率高的具有快速对准和压印功能的新型纳米压印设备。

为了实现上述目的，本实用新型提供了以下技术方案：具有快速对准和压印功能的新型纳米压印设备，包括机台，还包括：

 压印腔机构，其设置于上述机台上；

 模板平台，其连接一球轴和一Z轴运动驱动装置，该模板平台的上方还设置有一视觉观察装置；

基板平台，其设置于上述机台上、上述模板平台的下方，该基板平台通过一平台驱动装置驱动，在上述压印腔机构和模板平台之间来回移动。

优选地，上述的模板平台还连接一旋转运动驱动装置和一XY轴运动驱动装置。

优选地，上述的平台驱动装置包括设置在上述基板平台下的传动平台和连接该传动平台的皮带轮机构。

优选地，上述的传动平台还设置于一导轨上，该导轨设置于上述机台上，其包括垂直相交的第一导轨单元和第二导轨单元，上述模板平台设置于该第一导轨单元处，上述压印腔机构设置于该第二导轨单元处。

优选地，上述的基板平台上还设置有夹紧装置。

优选地，上述的视觉观察装置还连接一第二Z轴运动驱动装置和第二XY轴运动驱动装置。

采用以上技术方案的有益效果在于：本实用新型的设备主要包括了压印腔机构、具有球轴和Z轴运动驱动装置的模板平台和可以在压印腔机构和模板平台之间来回移动的基板平台，通过上述的模板平台、基板平台和压印腔机构的结合作用，不但可以保证基板和模板之间的平行度，实现压印模板与基底的微图案对准调整，从而实现多层图像套刻压印，而且可以形成对准、贴合、压印等一系列的工作，提高了整体的工作效率。

附图说明

图1是本实用新型的具有快速对准和压印功能的新型纳米压印设备在一侧位置上的结构示意图。

图2是本实用新型的具有快速对准和压印功能的新型纳米压印设备在另一侧位置上的结构示意图。

图3是本实用新型的具有快速对准和压印功能的新型纳米压印设备在俯视位置上的结构示意图。

图4是本实用新型的具有快速对准和压印功能的新型纳米压印设备的立体图1。

图5是本实用新型的具有快速对准和压印功能的新型纳米压印设备的立体图2。

其中，1.机台 2.压印腔机构 21.压力气缸 22.增压密封单元 23.密封型腔单元 3.模板平台31.球轴 32. Z轴运动驱动装置 33.旋转运动驱动装置 34.XY轴运动驱动装置 35.模板平台支架 4.视觉观察装置 41.第二Z轴运动驱动装置 42.第二XY轴运动驱动装置 5.基板平台 51.夹紧装置 6.平台驱动装置 61.传动平台 62.皮带轮机构 7.导轨 71.第一导轨单元 72.第二导轨单元。

具体实施方式

下面结合附图详细说明本实用新型的优选实施方式。