[实用新型]一种具有快速对准功能的新型纳米压印设备有效
| 申请号： | 201320824950.7 | 申请日： | 2013-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN203658727U | 公开（公告）日： | 2014-06-18 |
| 发明（设计）人： | 史晓华 | 申请（专利权）人： | 史晓华 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G03F9/00 |
| 代理公司： | 苏州华博知识产权代理有限公司 32232 | 代理人： | 魏亮芳 |
| 地址： | 215513 江苏省苏州市常熟市常熟*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 具有 快速 对准 功能 新型 纳米 压印 设备 | ||
【权利要求书】：
1.一种具有快速对准功能的新型纳米压印设备，包括机台，其特征在于：还包括：
压印腔机构，其设置于所述机台上；
模板平台，其连接一球轴和一Z轴运动驱动装置，所述模板平台的上方还设置有一视觉观察装置；
基板平台，其设置于所述机台上、所述模板平台的下方，所述基板平台通过一平台驱动装置驱动，在所述压印腔机构和所述模板平台之间来回移动。
2.根据权利要求1所述的一种具有快速对准功能的新型纳米压印设备，其特征在于：所述模板平台还连接一旋转运动驱动装置和一XY轴运动驱动装置。
3.根据权利要求1所述的一种具有快速对准功能的新型纳米压印设备，其特征在于：所述平台驱动装置包括设置在所述基板平台下的传动平台和连接所述传动平台的皮带轮机构。
4.根据权利要求3所述的一种具有快速对准功能的新型纳米压印设备，其特征在于：所述的传动平台还设置于一导轨上，所述导轨设置于所述机台上，其包括垂直相交的第一导轨单元和第二导轨单元，所述模板平台设置于所述第一导轨单元处，所述压印腔机构设置于所述第二导轨单元处。
5.根据权利要求1所述的一种具有快速对准功能的新型纳米压印设备，其特征在于：所述基板平台上还设置有夹紧装置。
6.根据权利要求1所述的一种具有快速对准功能的新型纳米压印设备，其特征在于：所述视觉观察装置还连接一第二Z轴运动驱动装置和第二XY轴运动驱动装置。
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