[实用新型]一种台面大功率半导体器件多层复合膜钝化结构

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种台面大功率半导体器件多层复合膜钝化结构。

背景技术

为了防止表面沾污，通常都需要在半导体器件表面覆盖保护介质膜以形成钝化层。台面高压大功率半导体器件钝化工艺一般采用单层玻璃钝化，玻璃钝化能有效防止台面pn结沾污，并作为一种终端结构改善台面高压器件的表面击穿特性，使高压半导体器件获得电压阻断能力。但单层玻璃钝化工艺存在玻璃与硅片热膨胀系数不一致，在热应力下容易导致芯片碎裂，并且玻璃为绝缘介质，不能屏蔽外电场也不能对台面pn结表面电场进行调制，含硼玻璃还会对半导体进行掺杂使得器件低击穿，因而钝化效果有限，单层玻璃钝化高压器件在高温、高压条件下工作的可靠性也较低。

因此，为解决上述问题，特提供一种新的技术方案。

实用新型内容

本实用新型提供一种台面大功率半导体器件多层复合膜钝化结构。

本实用新型采用的技术方案是：

一种台面大功率半导体器件多层复合膜钝化结构，包括P 型硼结区和N 型磷结区，所述N 型磷结区上下两端均设有P 型硼结区，在台面大功率半导体器件台面PN结表面从内到外依次包括α-多晶硅层、半绝缘多晶硅薄膜、低温热氧化层、高温Si₃N₄薄膜、负电荷性玻璃钝化层和低温热氧化层。

本实用新型的有益效果是：该台面大功率半导体器件多层复合膜钝化结构既可用于单台面功率半导体器件钝化也可用于双台面功率半导体器件钝化，应用广泛，采用多层复合薄膜，能改善台面大功率半导体器件的结表面钝化性能，减小器件的漏电流，提高器件的高温工作稳定性和可靠性，提高器件的工作结温，大幅提高生产线产品良率。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细描述。

图1为双台面高压半导体器件多层复合膜钝化结构示意图。

图2为单台面高压半导体器件多层复合膜钝化结构示意图。

其中：1、α-多晶硅层，2、半绝缘多晶硅薄膜，3、低温热氧化层，4、高温Si₃N₄薄膜，5、负电荷性玻璃钝化层，6、P 型硼结区，7、N 型磷结区。

具体实施方式

为了加深对本实用新型的理解，下面将结合实施例和附图对本实用新型的作进一步详述，该实施例仅用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的保护范围的限定。

如图1或图2所示，本发明的一种台面大功率半导体器件多层复合膜钝化结构，包括P 型硼结区6和N 型磷结区7，N 型磷结区7上下两端均设有P 型硼结区6，在台面大功率半导体器件台面PN结表面从内到外依次包括α-多晶硅层1、半绝缘多晶硅薄膜2、低温热氧化层3、高温Si₃N₄薄膜4、负电荷性玻璃钝化层5和低温热氧化层3。

本实用新型的有益效果是：该台面大功率半导体器件多层复合膜钝化结构既可用于单台面功率半导体器件钝化也可用于双台面功率半导体器件钝化，应用广泛，采用多层复合薄膜，能改善台面大功率半导体器件的结表面钝化性能，减小器件的漏电流，提高器件的高温工作稳定性和可靠性，提高器件的工作结温，大幅提高生产线产品良率。

以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非是对本实用新型作任何其他形式的限制，而依据本实用新型的技术实质所作的任何修改或等同变化，仍属于本实用新型所要求保护的范围。