[实用新型]一种晶片承载器

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种晶片承载器。

背景技术

在MEMS技术科研生产过程中，经常需要对晶片进行各种溶液浸泡腐蚀、冲洗、转移等操作，因此需要一种能够对晶片起到稳固支撑，抗酸碱溶液，同时不对晶片表面造成磕碰划伤的承载器。目前常见的承载器通常是由石英材料制成的带“提耳”的承载器，极易对硅片表面造成划伤，影响后续工艺质量；同时硅片放置于这类石英花篮承载器中时无法稳定支撑，相邻的晶片间可能发生倾倒和吸附的现象，另外该类承载器极易由于碰撞和跌落导致碎裂，由此可见这类石英花篮承载器存在明显的使用缺陷。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是：提出一种能够对晶片进行稳定支承，同时起到良好保护作用，且便于各项操作，易于制造和使用的晶片承载器，这种承载器能够灵活组装，同时可适用于不同尺寸的晶片。

本实用新型采取的技术方案为：一种晶片承载器，其特征是：所述承载器包括承载器主体和承载器提钩；承载器主体包括支撑板1、带有卡槽2的支撑杆；支撑杆包括两根侧边支撑杆3和一根底部支撑杆4，三根支撑杆相互平行；两根侧边支撑杆3到底部支撑杆4的距离相等，两侧边支撑杆上的卡槽与水平线的角度相等并与晶片5边缘相切；支撑板1为两块竖直的互相平行的平板，两块平板通过三根支撑杆相连接；支撑板1上有互相对应的固定孔，固定孔与三根支撑杆相配合；三根支撑杆上的卡槽一一对应；承载器提钩包括提杆11、横杆12、钩子13；提杆11和横杆12、钩子13均为螺纹连接；承载器提钩与承载器主体相配合。

进一步的，用于固定侧边支撑杆的固定孔有两对。

本实用新型的有益效果：本实用新型一种晶片承载器，采用板状和杆状结构进行组装，通过变换固定孔安装可适用于三寸、四寸等多种不同尺寸晶片的承载需求；三根支撑杆及其上的卡槽对晶片形成稳固的三点支撑，防止晶片组承载器上左右晃动或掉出；本实用新型提高了晶片提拉转运等操作过程的便利性、稳定性和可靠性。

附图说明

图1是本实用新型晶片承载器的结构示意图；

图2是本实用新型晶片承载器中承载器主体结构示意图；

图3是本实用新型晶片承载器中支撑板示意图；

图4是本实用新型晶片承载器中侧边支撑杆示意图

其中，1-支撑板、2-卡槽、3-侧边支撑杆、4-底部支撑杆、5-晶片、6-三寸晶片固定孔、7-四寸晶片固定孔、8-底部支撑杆固定孔、9-加强杆固定孔、10-加强杆、11-提杆、12-横杆、13-钩子。

具体实施方式

下面结合说明书附图对本实用新型的具体实施方式做进一步说明。

参见图1，一种晶片承载器，包括承载器主体、承载器提钩；承载器主体包括支撑板1、带卡槽2的支撑杆，支撑杆包括两根侧边支撑杆3和一根底部支撑杆4，三根支撑杆相互平行；两根侧边支撑杆3到底部支撑杆4的距离相等，两侧边支撑杆上的卡槽2与水平线的角度相等并与晶片5边缘相切；支撑板1为两块竖直的互相平行的平板，两块平板通过三根支撑杆相连接；支撑板1上有互相对应的固定孔：三寸晶片固定孔6、四寸晶片固定孔7、底部支撑杆固定孔8、加强杆固定孔9。固定孔与三根支撑杆及加强杆10相配合。三根支撑杆上的卡槽一一对应。承载器提钩包括提杆11、横杆12、钩子13；提杆11和横杆12、钩子13均为螺纹连接；承载器提钩与承载器主体相配合。

使用时先将支撑杆和加强杆10通过其上两端的方形固定端及螺纹杆安装到支撑板上的固定孔，并用螺母紧固，根据需求可选择三寸晶片固定孔6或四寸晶片固定孔7；承载器提钩则通过将提杆11、横杆12和钩子13紧固组合形成使用状态，与承载器配套。

两根加强杆10起到加强整体结构强度作用；该实用新型一次可对10片晶片同时进行操作，承载器整体可放入直径大于150mm烧杯或磨口瓶中；本实用新型整体采用聚四氟乙烯材料，可对晶片起到良好的支撑和保护作用，避免操作过程中对晶片表面的磕碰和划伤；

具体实施过程步骤如下：

1、承载器主体组装：分别在三根支撑杆和两根加强杆的两端用螺母将其和两块支撑板上的固定孔紧固到一起，形成承载器主体；

2、提钩组装：将提杆、横杆和钩子通过两端的固定孔和螺母紧固到一起形成提钩；

3、晶片提拉转运：将承载器放置于水平面上，将待操作的晶片放入承载器相应卡槽中，将提钩钩住承载器两侧边支撑杆端部的凸出部分进行提拉转运等各项操作。