[实用新型]一种硅片自动插片机有效
申请号: | 201320815268.1 | 申请日: | 2013-12-13 |
公开(公告)号: | CN203774357U | 公开(公告)日: | 2014-08-13 |
发明(设计)人: | 王燕清;周昕 | 申请(专利权)人: | 无锡先导自动化设备股份有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/677 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 214028 江苏省无锡*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 硅片 自动 插片机 | ||
1.一种硅片自动插片机,包括料盒摆放台(1)、升降平台(2)、输送机(3)、旋转搬运装置(4)、机架(5)、顶块装置(6),其中,所述机架(7)上固设有料盒摆放台(1),在料盒摆放台(1)下方设置有将料盒摆放台(1)上的硅片顶起的顶块装置(6),在机架(7)上固设有旋转搬运装置(4),其特征在于:
所述旋转搬运装置(4)包括第一吸盘(4.2)、转盘(4.5)、L支座(4.6)、第二连接块(4.9)、第一旋转机构、第一移动机构,其中,所述转盘(4.5)上均布连接有四个第二连接块(4.9),所述第二连接块(4.9)上滑动连接有L支座(4.6),所述L支座(4.6)下端面固定安装有第一吸盘(4.2),所述第一旋转机构能驱动转盘(4.5)旋转分度90°,所述第一移动机构能实现所述第一吸盘(4.2)的升降运动;
所述旋转搬运装置(4)的内侧和外侧分别设置有输送机(3);
所述输送机(3)的左侧与右侧分别设置有所述升降平台(2),所述输送机(3)包括第一移动板(3.3)、第二移动板(3.7)、第一移动驱动机构、第二移动驱动机构,其中,所述第一移动驱动机构用于将第一移动板(3.3)上的硅片传送至左侧的升降平台(2)上,所述第二移动机构用于将第二移动板(3.7)上的硅片传送至右侧的升降平台(2)上。
2.如权利要求1所述的一种硅片自动插片机,其特征在于:所述第一旋转机构包括第二电机(4.1)、安装座(4.7)、减速机(4.8), 其中,所述安装座(4.7)固定于机架(7)上,在所述安装座(4.7)内部固设有第二电机(4.1),所述第二电机(4.1)的输出端固定连接有减速机(4.8),在所述减速机(4.8)输出端固定连接有转盘(4.5)。
3.如权利要求1所述的一种硅片自动插片机,其特征在于:所述第一移动机构包括第一滑块(4.3)、第一气缸(4.4)、L支座(4.6),其中,所述第二连接块(4.9)上表面固定连接有第一气缸(4.4),在所述第二连接块(4.9)侧面固定连接有第一滑块(4.3),所述L支座(4.6)的侧面固定有线轨,且所述线轨滑动连接于第一滑块(4.3),所述第一气缸(4.4)的活塞杆固定连接于L支座(4.6)上端的连接板。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的