[实用新型]机械手臂、传送装置及曝光设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体制造领域，特别涉及一种机械手臂及包含所述机械手臂的传送装置和曝光设备。

背景技术

光刻是半导体制造的关键工艺之一，通过光刻工艺能够将光掩模板上的特征图形转移到半导体器件上。为了在半导体器件的各个膜层中形成各种特征图形，通常需要进行多次光刻。

光刻工艺的核心设备是曝光设备，所述曝光设备包括传送装置和曝光腔室，所述传送装置将涂布有光刻胶的硅片或玻璃基板传送至曝光腔室中进行曝光，从而将光掩模板上的特征图形转移到光刻胶上。

现有技术中曝光设备的传送装置通常包括机械手臂和卡盘，所述卡盘与所述曝光腔室连接。传送过程中机械手臂先将硅片或玻璃基板转移给卡盘，再通过卡盘将硅片或玻璃基板传送至曝光腔室中。

请参考图1，其为现有技术的传送装置的结构示意图。如图1所示，所述传送装置100包括机械手臂110和卡盘120，其中，机械手臂110的手臂尖端111比较窄，卡盘120具有凹槽121，卡盘120的凹槽121比机械手臂110的手臂尖端111稍宽，在转移硅片或玻璃基板之前需要调整机械手臂110与卡盘120的相对位置，使机械手臂110的手臂尖端111对准并靠近卡盘120的凹槽121。若转移时机械手臂110的手臂尖端111没有对准卡盘120的凹槽121，机械手臂110和卡盘120之间会出现摩擦，摩擦导致卡盘120的边缘产生毛刺或变形，这会引起设备的真空侦测异常，同时，摩擦也会对机械手臂110造成损伤，缩短机械手臂110的使用寿命。

目前，由于判断机械手臂110与卡盘120的相对位置只能依靠肉眼进行估计，因此并不精确。而且，由于曝光设备中各个部件的结构非常紧凑，肉眼很难看清楚机械手臂110与卡盘120的位置。所以，按照目前的判断方式不能保证两者完全居中，这给曝光设备的运行留下很大的隐患。

因此，如何解决现有技术的曝光设备由于机械手臂与卡盘不能对准影响设备运行并缩短机械手臂的使用寿命的问题成为当前亟需解决的技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种机械手臂、传送装置及曝光设备，以解决现有的曝光设备由于机械手臂与卡盘不能对准影响设备运行并缩短机械手臂的使用寿命的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种传送装置，所述机械手臂包括：手臂主体、手臂尖端和对位辅助装置；

所述手臂主体与手臂尖端相连，所述对位辅助装置活动设置于所述手臂主体上。

优选的，在所述的机械手臂中，所述对位辅助装置包括：激光发射器、反射透镜组和基座；

所述激光发射器和反射透镜组位于所述基座的同一侧并固定于所述基座上，所述激光发射器的发射方向对准所述反射透镜组。

优选的，在所述的机械手臂中，所述反射透镜组包括依次排列的第一半反射透镜、第二半反射透镜、第三半反射透镜和全反射透镜；

所述第一半反射透镜、第二半反射透镜、第三半反射透镜和全反射透镜相互平行且均与所述基座的表面垂直；

所述激光发射器的发射方向与所述第一半反射透镜的表面成45°夹角。

优选的，在所述的机械手臂中，所述第二半反射透镜与第三半反射透镜的间距根据所述手臂尖端的宽度进行设置，所述第一半反射透镜与全反射透镜的间距根据与所述手臂尖端配套的凹槽的宽度进行设置。

优选的，在所述的机械手臂中，所述手臂主体上设置有滑槽，所述对位辅助装置的底部设置有滑块，所述滑槽的外形尺寸与所述滑块的外形尺寸相适配。

优选的，在所述的机械手臂中，所述滑块的相对两侧分别设置有沉头螺丝。

优选的，在所述的机械手臂中，所述基座包括第一基板和第二基板，所述第一基板和第二基板之间设置有转轴；

所述第一基板和第二基板通过沉头螺丝和弹性部件连接，所述弹性部件和沉头螺丝分别位于所述转轴的相对两侧。

优选的，在所述的机械手臂中，所述第一基板靠近第二基板的一侧和所述第二基板靠近第一基板的一侧均设置有与所述转轴配合的圆弧形凹槽。

本实用新型还提供一种传送装置，所述传送装置包括：卡盘和如上所述的机械手臂；

所述卡盘具有凹槽，所述凹槽的宽度大于所述机械手臂的手臂尖端的宽度；

所述机械手臂上的第二半反射透镜与第三半反射透镜间距根据所述手臂尖端的宽度进行设置，所述机械手臂上的第一半反射透镜与全反射透镜的间距根据所述凹槽的宽度进行设置。

本实用新型还提供一种曝光设备，所述曝光设备包括如上所述的传送装置。