[实用新型]机械手臂、传送装置及曝光设备

权利要求书

1.一种机械手臂，其特征在于，包括：手臂主体、手臂尖端和对位辅助装置；

所述手臂主体与手臂尖端相连，所述对位辅助装置活动设置于所述手臂主体上。

2.如权利要求1所述的机械手臂，其特征在于，所述对位辅助装置包括：激光发射器、反射透镜组和基座；

所述激光发射器和反射透镜组位于所述基座的同一侧并固定于所述基座上，所述激光发射器的发射方向对准所述反射透镜组。

3.如权利要求2所述的机械手臂，其特征在于，所述反射透镜组包括依次排列的第一半反射透镜、第二半反射透镜、第三半反射透镜和全反射透镜；

所述第一半反射透镜、第二半反射透镜、第三半反射透镜和全反射透镜相互平行且均与所述基座的表面垂直；

所述激光发射器的发射方向与所述第一半反射透镜的表面成45°夹角。

4.如权利要求3所述的机械手臂，其特征在于，所述第二半反射透镜与第三半反射透镜的间距根据所述手臂尖端的宽度进行设置，所述第一半反射透镜与全反射透镜的间距根据与所述手臂尖端配套的凹槽的宽度进行设置。

5.如权利要求2所述的机械手臂，其特征在于，所述手臂主体上设置有滑槽，所述对位辅助装置的底部设置有滑块，所述滑槽的外形尺寸与所述滑块的外形尺寸相适配。

6.如权利要求5所述的机械手臂，其特征在于，所述滑块的相对两侧分别设置有沉头螺丝。

7.如权利要求2所述的机械手臂，其特征在于，所述基座包括第一基板和第二基板，所述第一基板和第二基板之间设置有转轴；

所述第一基板和第二基板通过沉头螺丝和弹性部件连接，所述弹性部件和沉头螺丝分别位于所述转轴的相对两侧。

8.如权利要求7所述的机械手臂，其特征在于，所述第一基板靠近第二基板的一侧和所述第二基板靠近第一基板的一侧均设置有与所述转轴配合的圆弧形凹槽。

9.一种传送装置，其特征在于，包括：卡盘和如权利要求1至8中任一项所述的机械手臂；

所述卡盘具有凹槽，所述凹槽的宽度大于所述机械手臂的手臂尖端的宽度；

所述机械手臂上的第二半反射透镜与第三半反射透镜间距根据所述手臂尖端的宽度进行设置，所述机械手臂上的第一半反射透镜与全反射透镜的间距根据所述凹槽的宽度进行设置。

10.一种曝光设备，其特征在于，包括如权利要求9所述的传送装置。