[实用新型]四轴位移调整装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种四轴位移调整装置，特别涉及一种适用于半导体测试领域中定位检测装置用的四轴位移调整装置。

背景技术

在众多的技术领域中均可见到位移调整装置，例如工具机中工件或刀具的夹治具、或检测设备中检测装置的微调机构，甚至日常生活常见用品也都有一维、二维或三维不等的调整机构。其中，位移调整装置或机构常见用于定位，即其主要目的在于提供其所附着的标的物(如探针、待测物、工件、或刀具等)在某一方向或某些特定方向上的位移。

然而，常见的位移调整装置多属于二维或三维的调整，即提供平面的X轴、Y轴方向、或者三维空间的X轴、Y轴、Z轴上的位移调整，而很少有提供水平旋转的第四轴向上的位移的调整装置。

再者，公知的多轴向位移调整装置也多半单靠螺杆、螺帽的内外螺纹刻度调整的方式，而此方式虽然简单、可靠，但并无提供复位的相关机制，一旦螺帽脱离螺杆，将导致组件分离。此外，公知单靠螺杆、螺帽的内外螺纹刻度调整的方式，因加工精度的关系，内外螺纹间难免形成有余隙，由此将影响定位精度。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种四轴位移调整装置，除能提供三维立体空间中三轴向上的直线位移外，更具备进行水平旋转角度的调整。

为实现上述目的，本实用新型的四轴位移调整装置，主要包括：第一方向位移模块、第二方向位移模块、立向位移模块以及旋转位移模块。其中，第一方向位移模块包括底板、第一方向滑块以及第一方向调整杆，第一方向滑块可滑动地耦合于底板，第一方向调整杆组装于底板和第一方向滑块之间，且第一方向调整杆用于调整第一方向滑块在第一方向上的滑移；第二方向位移模块包括第二方向滑块以及第二方向调整杆，第二方向滑块可滑动地耦合于第一方向滑块上，而第二方向调整杆组装于第一方向滑块和第二方向滑块之间，且第二方向调整杆用于调整第二方向滑块在第二方向上的滑移；立向位移模块包括支撑座、立向滑块以及立向调整杆，支撑座组装于该第二方向滑块上，而立向滑块能直立滑动地耦合于支撑座上，且立向调整杆组装于支撑座和立向滑块之间，立向调整杆用于调整立向滑块在直立方向上的滑移；旋转位移模块包括固定座、水平旋板以及旋转调整杆，固定座组装于立向滑块上，水平旋板枢接于固定座上，而旋转调整杆组装于固定座和水平旋板之间，旋转调整杆用于调整水平旋板在水平方向上的旋移。

据此，本实用新型通过第一方向位移模块和第二方向位移模块可提供一水平面上二轴向的位移，并通过立向位移模块可提供三维空间上第三轴的升降位移，又通过旋转位移模块可提供水平的旋转角度的调整。

较优选的是，本实用新型的第一方向位移模块可包括第一导轨和第一导槽，第一方向位移模块通过所述第一导轨和所述第一导槽的耦合而能相对滑移；第二方向位移模块可包括第二导轨和第二导槽，第二方向位移模块通过所述第二导轨和所述第二导槽的耦合而能相对滑移；以及立向位移模块可包括第三导轨和第三导槽，而立向位移模块通过所述第三导轨和所述第三导槽的耦合而可相对滑移。换言之，本实用新型的第一方向位移模块、第二方向位移模块、以及立向位移模块可通过导轨嵌合于导槽的方式，引导三轴向的位移。此外，上述这些导轨可分别设于底板的上表面上、第一方向滑块的上表面上以及支撑座的一侧面上，而导槽可分别设于第一方向滑块的下表面上、支撑座的下表面上以及立向滑块的一侧面上。

再者，本实用新型的四轴位移调整装置的底板可凸伸有第一螺合块，而第一方向滑块可凸伸有第一挡止块，第一方向调整杆以平行于底板的第一导轨的方式螺合于第一螺合块并推抵第一挡止块。同样地，第一方向滑块可凸伸有第二螺合块，第二方向滑块可凸伸有第二挡止块，而第二方向调整杆可以平行于第一方向滑块的第二导轨的方式螺合于第二螺合块并推抵第二挡止块。又，立向滑块可凸伸有第三螺合块，支撑座可凸伸有第三挡止块，而立向调整杆可以平行于立向滑块的第三导槽的方式螺合于第三螺合块并推抵第三挡止块。此外，本实用新型的固定座可凸伸有第四螺合块，而水平旋板上相对于枢接处的一侧可凸伸有第四挡止块，且旋转调整杆可螺合于第四螺合块并推抵第四挡止块。据此，本实用新型的位移调整可通过各自调整杆推抵挡止块的方式进行。