[实用新型]一种半导体致冷器晶片厚度检测装置有效
申请号: | 201320766981.1 | 申请日: | 2013-11-29 |
公开(公告)号: | CN203595477U | 公开(公告)日: | 2014-05-14 |
发明(设计)人: | 李水祥;杨红;郑美良 | 申请(专利权)人: | 浙江迈特电子有限公司 |
主分类号: | G01B5/06 | 分类号: | G01B5/06;H01L21/66 |
代理公司: | 杭州赛科专利代理事务所 33230 | 代理人: | 余华康 |
地址: | 324200 *** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 半导体 致冷 晶片 厚度 检测 装置 | ||
1.一种半导体致冷器晶片厚度检测装置,其特征是:它由支架、标准平板、横杆、上斜杆、下斜杆组成,所述支架为三角形;所述标准平板为矩形,设置在支架的斜面上;所述横杆设置在标准平板的上方,在横杆与标准平板之间留有间隙,其间隙为半导体致冷器晶片厚度标准尺寸上公差;所述上斜杆设置在标准平板的中部,在上斜杆与标准平板之间留有间隙,其间隙为半导体致冷器晶片厚度标准尺寸下公差;所述下斜杆设置在标准平板的下部。
2.根据权利要求1所说的一种半导体致冷器晶片厚度检测装置,其特征是:所述支架三角形的斜度设置为45度至60度。
3.根据权利要求1所说的一种半导体致冷器晶片厚度检测装置,其特征是:所述标准平板(1)朝上的一面制成光滑平面,并有足够的平整度。
4.根据权利要求1所说的一种半导体致冷器晶片厚度检测装置,其特征是:所述横杆(3)、上斜杆(4)与标准平板(1)相对的一面均制成光滑平面,并有足够的平整度。
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