[实用新型]一种湿法刻蚀的切水装置有效

专利信息
申请号: 201320760571.6 申请日: 2013-11-28
公开(公告)号: CN203674239U 公开(公告)日: 2014-06-25
发明(设计)人: 庞瑞卿;展士飞;叶超;桑和伟 申请(专利权)人: 合肥海润光伏科技有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L21/67
代理公司: 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 代理人: 刘燕娇
地址: 230000 安徽省合肥*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 一种 湿法 刻蚀 装置
【权利要求书】:

1.一种湿法刻蚀的切水装置,其特征在于:所述切水装置包括至少一对上下垂直安装的滚轮,所述滚轮整体外径相同,所述上、下滚轮(2、5)之间留有间隙,所述滚轮的两端安装有卡槽,所述上、下滚轮(2、5)分别装有上、下传动齿轮(3、6),所述的上、下传动齿轮(3、6)转动方向相反,转动速率相同,所述切水装置水平方向至少设有一个滚轮,所述水平方向的滚轮间的间距相等。

2.根据权利要求1所述的湿法刻蚀的切水装置,其特征在于:所述滚轮为圆柱形平滑滚轮。

3.根据权利要求1所述的湿法刻蚀的切水装置,其特征在于:所述上、下滚轮(2、5)之间的间隙为0.2-0.5mm。

4.根据权利要求1所述的湿法刻蚀的切水装置,其特征在于:所述滚轮外径表面设有凹凸结构或设有多孔软泡沫层(1),所述泡沫层(1)厚度均匀。

5.根据权利要求1所述的湿法刻蚀的切水装置,其特征在于:所述水平方向的滚轮间的间距≤4cm。

6.根据权利要求1所述的湿法刻蚀的切水装置,其特征在于:所述滚轮的外径≤4cm。

7.根据权利要求4所述的湿法刻蚀的切水装置,其特征在于:所述凹凸结构(1)包括微孔结构、浅沟槽结构。

8.根据权利要求7所述的湿法刻蚀的切水装置,其特征在于:所述微孔结构的开口宽度≤1mm,所述浅沟槽结构的深度≤0.5mm。

9.根据权利要求1所述的湿法刻蚀的切水装置,其特征在于:所述滚轮的材质为高分子材料,包括PVDF。

10.根据权利要求4所述的湿法刻蚀的切水装置,其特征在于:所述泡沫层(1)的材质为高分子材料,包括PP、PVC。

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