[实用新型]一种适用于常压环境材料表面等离子体处理装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种适用于常压环境材料表面等离子体处理装置。

背景技术

低温等离子体技术作为一种新的表面改性手段，能快速、高效、无污染地改善材料的表面性能，赋予新的特征，同时又不改变材料的本体特点，已经越来越被世界各国的研究人员所重视，等离子体表面处理是利用气体放电产生的等离子体对材料表面进行物理和化学反应。参与反应的有激发态粒子、自由基和离子，也包括等离子体辐射紫外线的作用。通过表面反应有可能在表面引入特定官能团，产生表面活化和刻蚀，形成交联结构或生成表面自由基。这些作用一般不是单一的，往往某种作用为主，几种作用并存。正是这些作用决定了等离子体表面处理的有效性。

目前，绝大部分等离子体表面处理都是在低气压环境下进行的。由于低气压的真空设备成本高，现有技术中公开的专利号为201220480568.4，公开了一种常压下利用等离子体接枝聚合进行材料表面改性的装置，包括等离子体活化区和等离子体接枝聚合区，在等离子体活化区和等离子体接枝聚合区之间位接枝气体喂入区，等离子体活化区包括金属电极组、介质阻挡层，等离子体接枝聚合区包括金属电极组、介质阻挡层。该专利在运行的过程中只能通入一种气体，无法实现换气，难以实现工业化连续处理。

因此，亟需一种可更换反应气体的适用于常压环境材料表面等离子体处理装置。

实用新型内容

本实用新型的目的是克服现有技术存在的缺陷，提供一种适用于常压环境材料表面等离子体处理装置。

实现本实用新型目的的技术方案是：一种适用于常压环境材料表面等离子体处理装置，包括外壳、电极组件和电源，所述外壳内设置有反应腔室，所述外壳一侧壁体上开设有气体入口，所述外壳与设有气体入口相对的壁体上设置有溢气口，所述电极组件设置于所述反应腔室内，所述电极组件为一对相互平行设置的平板电极，两个平板电极相对应的电极面上设置有绝缘板。

进一步的，所述电源为高频发生器。

进一步的，还包括用于送入反应气体的气源，所述气源与所述气体入口连接。

本实用新型具有积极的效果：本实用新型物料放置于绝缘板上，反应气体从气体入口进入反应腔室中，同时溢气口向外排气，反应气体在反应腔室中稳定后，电源驱动电极组件工作形成电场将反应气体电离并对物料进行表面处理，实现常压下物料表面等离子体处理；当需要更换反应气体，只需要通入其他反应气体进入反应腔室中，前一种反应气体逐渐从溢气口中排出，实现更换反应气体。

附图说明

为了使本实用新型的内容更容易被清楚地理解，下面根据具体实施例并结合附图，对本实用新型作进一步详细的说明，其中：

图1为本实用新型第一实施例的结构示意图；

图2为本实用新型第二实施例的结构示意图。

其中：1、外壳，2、溢气口，3、反应腔室，4、绝缘板，5、电极组件，6、电源，7、气体入口，8、气源。

具体实施方式

实施例1

如图1所示，本实用新型第一实施例提供一种适用于常压环境材料表面等离子体处理装置，包括外壳1、电极组件5和电源6，外壳1内设置有反应腔室3，外壳1一侧壁体上开设有气体入口7，外壳1与设有气体入口7相对的壁体上设置有溢气口2，电极组件5设置于反应腔室3中，电极组件5为一对相互平行设置的平板电极，两个平板电极相对应的电极面上设置有绝缘板4。

本实施例物料放置于绝缘板4上，反应气体从气体入口7进入反应腔室3中，同时溢气口2向外排气，反应气体在反应腔室3中稳定后，电源6驱动电极组件5工作形成电场将反应气体电离并对物料进行表面处理，实现常压下物料表面等离子体处理；当需要更换反应气体，只需要通入其他反应气体进入反应腔室3中，前一种反应气体逐渐从溢气口2中排出，实现更换反应气体。

实施例2

如图2所示，其余与实施例1相同，不同之处在于，还包括用于送入反应气体的气源8，支气源8与气体入口7连接，电源6为高频发生器。

以上所述的具体实施例，对本实用新型的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本实用新型的具体实施例而已，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。