[实用新型]一种适用于常压环境材料表面等离子体处理装置有效
| 申请号： | 201320758446.1 | 申请日： | 2013-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN203588970U | 公开（公告）日： | 2014-05-07 |
| 发明（设计）人： | 沈文凯;王红卫 | 申请（专利权）人： | 苏州市奥普斯等离子体科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 苏州华博知识产权代理有限公司 32232 | 代理人： | 孟宏伟 |
| 地址： | 215011 江苏省苏州市苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 适用于 常压 环境 材料 表面 等离子体 处理 装置 | ||
【权利要求书】：
1. 一种适用于常压环境材料表面等离子体处理装置，其特征在于，包括外壳、电极组件和电源，所述外壳内设置有反应腔室，所述外壳一侧壁体上开设有气体入口，所述外壳与设有气体入口相对的壁体上设置有溢气口，所述电极组件设置于所述反应腔室内，所述电极组件为一对相互平行设置的平板电极，两个平板电极相对应的电极面上设置有绝缘板。
2. 根据权利要求1所述的适用于常压环境材料表面等离子体处理装置，其特征在于，所述电源为高频发生器。
3. 根据权利要求1或2所述的适用于常压环境材料表面等离子体处理装置，其特征在于，还包括用于送入反应气体的气源，所述气源与所述气体入口连接。
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