[实用新型]一种大尺寸蓝宝石晶体生长发热体的检测装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及各种晶体材料设备检测领域，特别是一种基于TSTGT技术的大尺寸蓝宝石晶体生长发热体的检测装置。

背景技术

现有技术中，生长大尺寸和优质的晶体设备，其材料精确度要求较高。其中发热体是生长过程直接提供能量的部件，其精确度的高低直接影响晶体生长温场环境的好坏。为保证发热体的精确度能满足晶体生长时所需达到的要求，在对原材料进料选择时，需进行严格而精确的检测，其中主要涉及到发热体材料的尺寸规格检验（发热体材料如图1，采用铜法兰、钨棒组成的笼状发热体01）。但现有检测工具及方法较为简陋、繁琐，难以选择检测出精确度统一更高的所需材料，而且比较耗人力成本影响工作效率。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于克服现有技术的上述缺点，提出一种能快速精准检验发热体材料的大尺寸蓝宝石晶体生长发热体的检测装置。

本实用新型采用如下技术方案：

一种大尺寸蓝宝石晶体生长发热体的检测装置，用于检测具有发热棒和固定法兰的笼状的发热体，其特征在于：包括检测板和若干标准短棒，该检测板上均匀分布有若干标准孔，该若干标准孔的分布方式与所述连接法兰的孔位分布保持一致，该标准短棒的直径与所述发热棒的直径保持一致。

优选的，所述检测板包括有若干个均匀分布形成半圆的标准孔。

优选的，所述检测板标准孔的数量为32个。

优选的，所述检测板包括有若干个均匀分布形成圆的标准孔。

优选的，所述检测板为铝合金材质的检测板。

优选的，所述标准孔的孔径与所述发热棒的直径相适配。

由上述对本实用新型的描述可知，与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：

1、本实用新型能够快速检测发热体的铜法兰和异型钨棒孔口位置的一致性及孔口均匀分布的精准度等；

2、本实用新型不仅减少了人力耗时，提高了工作效率，而且可以更快速高效的检测出精确度统一的所需发热体材料，确保了晶体生长所需温场环境的稳定可靠性。

附图说明

图1为技术的笼状发热体；

图2为本实用新型检测板的示意图；

图3为本实用新型标准短棒的示意图；

图4为本实用新型的装配示意图。

具体实施方式

以下通过具体实施方式对本实用新型作进一步的描述。

实施例一

参照图2，一种大尺寸蓝宝石晶体生长发热体的检测装置，用于检测具有发热棒和固定法兰的笼状的发热体，包括检测板1和若干标准短棒2。该检测板1上设有32个均匀分布形成半圆的标准孔11，该标准孔11的分布方式与连接法兰的孔位分布保持一致，利用公差限制孔位均匀分布角度和位置，标准孔11的孔径与发热棒的直径相适配。检测板1可采用铝合金材质制成，通过平行度对检测板1进行限制，保证平面精度。参照图3，该标准短棒2的直径与发热棒的直径保持一致，并通过公差对钨棒的高度和直径进行限制，保证标准短棒2的精度和与检测板1的配合精度。标准短棒2的数量可设置成与检测板1上的标准孔11数量对应。

本实用新型的上述两个实施例均可用于检测发热棒为钨棒，固定法兰为铜法兰的笼状发热体，快速精准地检验铜法兰与钨棒的配合情况，通过插入标准短棒2检测开槽钨棒开槽部分的孔径和标准孔11位的分布、开槽钨棒、半圆钨棒及异形钨棒的配合情况等，同时，参照图4本实用新型还能对桶法兰的孔位分布情况和铜法兰与钨棒的配合情况进行检测。

实施例二

一种大尺寸蓝宝石晶体生长发热体的检测装置，其主要结构与实施例一相同，区别在于：检测板上设有64个均匀分布形成圆的标准孔。

上述仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的设计构思并不局限于此，凡利用此构思对本实用新型进行非实质性的改动，均应属于侵犯本实用新型保护范围的行为。