[实用新型]电子束除氧与初步铸锭耦合制备多晶硅的装置有效
| 申请号： | 201320747322.3 | 申请日： | 2013-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN203559160U | 公开（公告）日： | 2014-04-23 |
| 发明（设计）人： | 安广野;郭校亮;王登科;姜大川;谭毅 | 申请（专利权）人： | 青岛隆盛晶硅科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06;C01B33/037 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266234 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电子束 初步 铸锭 耦合 制备 多晶 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种电子束除氧与初步铸锭耦合制备多晶硅的装置，炉体顶部通连安装有电子枪，侧部上端开有充气阀，下端开有放气阀，其特征在于炉体内放置有石英坩埚，石英坩埚外壁由内向外依次环绕有石墨加热器和石墨碳毡，石墨碳毡顶部安装有保温盖，石英坩埚底部中央位置开设有孔，且石英坩埚底部安装有水冷铜底座。
2.根据权利要求1所述的一种电子束除氧与初步铸锭耦合制备多晶硅的装置，其特征在于所述孔的面积为石英坩埚底部面积的20～35%。
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