[实用新型]一种大尺寸碳化硅晶体生长的感应线圈有效
| 申请号： | 201320740351.7 | 申请日： | 2013-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN203546207U | 公开（公告）日： | 2014-04-16 |
| 发明（设计）人： | 段聪;赵梅玉;高宇;邓树军;陶莹 | 申请（专利权）人： | 河北同光晶体有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B35/00 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人： | 杨立 |
| 地址： | 071000 河北省保定市北二*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 尺寸 碳化硅 晶体生长 感应 线圈 | ||
【权利要求书】：
1.一种大尺寸碳化硅晶体生长的感应线圈，其特征在于:包括线圈（1）和水路接头（2）；所述线圈（1）为横截面是矩形的多层螺旋盘管状；所述水路接头（2）有两个分别焊接在所述线圈（1）两端的伸出部分。
2.根据权利要求1所述的一种大尺寸碳化硅晶体生长的感应线圈，其特征在于：所述线圈（1）横截面矩形的长宽比例为1:2，所述线圈（1）横截面矩形的宽边与坩埚的外表面平行。
3.根据权利要求1或2所述的一种大尺寸碳化硅晶体生长的感应线圈，其特征在于：所述线圈（1）层与层之间的间距为5mm。
4.根据权利要求3所述的一种大尺寸碳化硅晶体生长的感应线圈，其特征在于：所述水路接头（2）为S形状。
5.根据权利要求1或2所述的一种大尺寸碳化硅晶体生长的感应线圈，其特征在于：所述水路接头（2）为S形状。
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