[实用新型]一种底部分离式碳化硅晶体生长用石墨坩埚有效
申请号: | 201320738809.5 | 申请日: | 2013-11-20 |
公开(公告)号: | CN203807591U | 公开(公告)日: | 2014-09-03 |
发明(设计)人: | 高宇;邓树军;段聪;赵梅玉;陶莹 | 申请(专利权)人: | 河北同光晶体有限公司 |
主分类号: | C30B23/00 | 分类号: | C30B23/00;C30B29/36 |
代理公司: | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人: | 杨立 |
地址: | 071000 河北省保定市北二*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 底部 分离 碳化硅 晶体生长 石墨 坩埚 | ||
【权利要求书】:
1.一种底部分离式碳化硅晶体生长用石墨坩埚,其特征在于:包括坩埚壁与坩埚底盖,所述坩埚壁与所述坩埚底盖相连接,且形成一封闭内腔,所述坩埚底盖的内壁上设有一层隔离层。
2.根据权利要求1所述的底部分离式碳化硅晶体生长用石墨坩埚,其特征在于:所述隔离层为石墨纸。
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