[实用新型]一种承载砷化镓晶棒表面喷砂的运动装置有效
| 申请号： | 201320733767.6 | 申请日： | 2013-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN203611132U | 公开（公告）日： | 2014-05-28 |
| 发明（设计）人： | 方赵刚;林泉;越云雷;李爱兵;龙彪 | 申请（专利权）人： | 有研光电新材料有限责任公司 |
| 主分类号： | B24C5/00 | 分类号： | B24C5/00 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人： | 刘秀青 |
| 地址： | 065001 *** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 承载 砷化镓晶棒 表面 喷砂 运动 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种承载砷化镓晶棒表面喷砂的运动装置，其特征在于，它包括由下至上依次设置的底座、滑车以及承载车；
该底座包括两条平行的第一导轨；
该滑车滑动设于该第一导轨上，该滑车顶部设有两条平行的第二导轨，该第二导轨方向与该第一导轨方向垂直；
该承载车滑动设于该第二导轨上，且顶部具有与晶棒形状相对应的半圆型凹部。
2.根据权利要求1所述的运动装置，其特征在于：所述第一导轨两端各通过第一连接板连接，且该第一连接板突出于该第一导轨表面。
3.根据权利要求1或2所述的运动装置，其特征在于：所述第二导轨两端各通过第二连接板连接，且该第二连接板突出于该第二导轨表面。
4.根据权利要求3所述的运动装置，其特征在于：所述凹部设有均匀分布的孔眼。
5.根据权利要求1或2所述的运动装置，其特征在于：所述凹部设有均匀分布的孔眼。
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