[实用新型]一种石英坩埚熔制机通风系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种石英坩埚系统领域，特别是涉及一种石英坩埚熔制机通风系统。

背景技术

真空电弧法生产石英坩埚设备是目前世界上生产坩埚最先进的技术设备。它以电弧为热源，离心成型的工艺制造坩埚。其特点是设备可操作性强，工艺成熟，产品利润空间大，市场前景广阔。石英玻璃坩埚是单晶硅生产中的关键必需品，是半导体产业的龙头产业。广泛应用于电子、化工等诸多行业。用电弧法制的半导体半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅，发展大规模集成电路必不可少的基础材料。当今，世界半导体工业发达国家已用此坩埚取代了小的透明石英坩埚。主要是采用电弧为热源，离心成型为基础，融化预先成型的高纯石英粉料，通过抽真空制造高纯度内层透明，外层乳白的石英坩埚装置。

实用新型内容

针对现有技术存在的问题，本实用新型的目的是提供一种石英坩埚熔制机通风系统，主要是由一套出风系统，一套进风系统组成，具体包括，熔制机壳1、进风道2、循环风机I3、进风罩4、出风罩5、出风道6、隔音壁7、温度传感器8和循环风机II9组成；所述隔音壁7位于熔制机壳1内部。

所述进风道2位于隔音壁7的顶部，所述循环风机I3安装在进风道2的进口处，所述进风道2的进口处置有一个进风罩4。

所述出风道6位于隔音壁7的底部，所述循环风机II9安装在出风道6的出口处，所述出风道6的出口处置有一个进风罩5。

所述隔音壁7的内部，多处置有温度传感器8，实时监测温度。

本实用新型采用采用一套进风系统，一套出风系统，并且在内部多出安装温度传感器一实时检测温度，便于控制通风系统。

附图说明

图1为本实用新型的示意图。

具体实施方式

参照图1中，本实用新型采用的技术方案为一种石英坩埚熔制机通风系统，主要是由一套出风系统，一套进风系统组成，具体包括，熔制机壳1、进风道2、循环风机I3、进风罩4、出风罩5、出风道6、隔音壁7、温度传感器8和循环风机II9组成；所述隔音壁7位于熔制机壳1内部。

进一步地，所述进风道2位于隔音壁7的顶部，所述循环风机I3安装在进风道2的进口处，所述进风道2的进口处置有一个进风罩4。

进一步地，所述出风道6位于隔音壁7的底部，所述循环风机II9安装在出风道6的出口处，所述出风道6的出口处置有一个进风罩5。

进一步地，所述隔音壁7的内部，多处置有温度传感器8，实时监测温度。

以上所述，仅是本实用新型的实施例，并非对本实用新型作任何限制，凡是根据本实用新型技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、变更以及等效结构变化，均仍属于本实用新型技术方案的保护范围内。