[实用新型]一种石英坩埚熔制机通风系统有效

专利信息
申请号: 201320729736.3 申请日: 2013-11-16
公开(公告)号: CN203639310U 公开(公告)日: 2014-06-11
发明(设计)人: 祝军武;高喜梅;张新丽 申请(专利权)人: 西安艾力特电子实业有限公司
主分类号: C03B5/16 分类号: C03B5/16;C03B20/00
代理公司: 西安智大知识产权代理事务所 61215 代理人: 弋才富
地址: 710065 *** 国省代码: 陕西;61
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摘要:
搜索关键词: 一种 石英 坩埚 熔制机 通风 系统
【权利要求书】:

1.一种石英坩埚熔制机通风系统,其特征在于:主要是由一套出风系统,一套进风系统组成,具体包括,熔制机壳(1)、进风道(2)、循环风机I(3)、进风罩(4)、出风罩(5)、出风道(6)、隔音壁(7)、温度传感器(8)和循环风机II(9)组成;所述隔音壁(7)位于熔制机壳(1)内部。

2.如权利要求1所述一种石英坩埚熔制机通风系统,其特征在于:所述进风道(2)位于隔音壁(7)的顶部,所述循环风机I(3)安装在进风道(2)的进口处,所述进风道(2)的进口处置有一个进风罩(4)。

3.如权利要求1所述一种石英坩埚熔制机通风系统,其特征在于:所述出风道(6)位于隔音壁(7)的底部,所述循环风机II(9)安装在出风道(6)的出口处,所述出风道(6)的出口处置有一个进风罩(5)。

4.如权利要求1所述一种石英坩埚熔制机通风系统,其特征在于:所述隔音壁(7)的内部,多处置有温度传感器(8),实时监测温度。

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