[实用新型]一种石英坩埚熔制机通风系统有效
| 申请号: | 201320729736.3 | 申请日: | 2013-11-16 |
| 公开(公告)号: | CN203639310U | 公开(公告)日: | 2014-06-11 |
| 发明(设计)人: | 祝军武;高喜梅;张新丽 | 申请(专利权)人: | 西安艾力特电子实业有限公司 |
| 主分类号: | C03B5/16 | 分类号: | C03B5/16;C03B20/00 |
| 代理公司: | 西安智大知识产权代理事务所 61215 | 代理人: | 弋才富 |
| 地址: | 710065 *** | 国省代码: | 陕西;61 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 石英 坩埚 熔制机 通风 系统 | ||
1.一种石英坩埚熔制机通风系统,其特征在于:主要是由一套出风系统,一套进风系统组成,具体包括,熔制机壳(1)、进风道(2)、循环风机I(3)、进风罩(4)、出风罩(5)、出风道(6)、隔音壁(7)、温度传感器(8)和循环风机II(9)组成;所述隔音壁(7)位于熔制机壳(1)内部。
2.如权利要求1所述一种石英坩埚熔制机通风系统,其特征在于:所述进风道(2)位于隔音壁(7)的顶部,所述循环风机I(3)安装在进风道(2)的进口处,所述进风道(2)的进口处置有一个进风罩(4)。
3.如权利要求1所述一种石英坩埚熔制机通风系统,其特征在于:所述出风道(6)位于隔音壁(7)的底部,所述循环风机II(9)安装在出风道(6)的出口处,所述出风道(6)的出口处置有一个进风罩(5)。
4.如权利要求1所述一种石英坩埚熔制机通风系统,其特征在于:所述隔音壁(7)的内部,多处置有温度传感器(8),实时监测温度。
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