[实用新型]一种板式PECVD装置用挂钩

说明书

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池制作技术领域，特别涉及一种板式PECVD装置用挂钩。

背景技术

PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition，等离子体增强化学气相沉积法)是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜。PECVD加工工艺分为管式PECVD工艺和板式PECVD工艺，板式PECVD工艺分为上镀膜工艺和下镀膜工艺。传统的板式PECVD装置的下镀膜工艺中，板式PECVD搭载硅片镀膜时需要使用石墨舟，石墨舟在运行工艺时需要使用挂钩才能形成完整的硅片承载体—石墨载板。

如图1至图3所示，传统的挂钩主要包括挂钩本体和垫片02，其中挂钩本体包括连接件03和两个钩体01，其中连接件03的两端分别与两个钩体01固定连接，连接件03上表面的宽度与钩体01上与连接件03连接处宽度相等，垫片02上表面的宽度大于连接件03上表面的宽度。在石墨舟上安装挂钩时，首先工作人员一只手拿着垫片02，另一只手拿着挂钩本体，然后将垫片02嵌在两个钩体01之间，连接件03用于支撑垫片02，完成挂钩安装之后再将挂钩安装在石墨舟上。

由于，需要使用挂钩时需要工作人员先将垫片02嵌在钩体01上，为了确保垫片02准确地嵌在钩体01上需要先将垫片02的两个侧边先与两个钩体01的内侧面对齐，然后将垫片02沿钩体01的长度方向由上至下运动，最后嵌在挂钩本体上，工作人员的劳动强度大；另一方面，每次使用挂钩都需要先进行挂钩的安装工作，板式PECVD的工作效率较低。

因此，如何在降低工作人员劳动强度的同时提高板式PECVD的工作效率，是本领域技术人员亟待解决的技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种板式PECVD装置用挂钩，该板式PECVD装置用挂钩能够在降低工作人员劳动强度的同时提高板式PECVD的工作效率。

为实现上述目的，本实用新型提供一种板式PECVD装置用挂钩，包括挂钩本体和垫片，所述挂钩本体包括两个钩体，所述垫片的两端分别与两个所述钩体固定连接。

优选地，所述挂钩本体和所述垫片为一体式结构。

优选地，还包括两端分别与所述钩体和所述垫片固定连接的加强筋。

优选地，所述加强筋和所述挂钩本体为一体式结构。

优选地，所述垫片的两端通过焊接与两个所述钩体固定连接。

优选地，所述挂钩为铁质挂钩。

在上述技术方案中，本实用新型提供的板式PECVD装置用挂钩包括挂钩本体和垫片，其中挂钩本体包括两个钩体，垫片的两端分别与两个钩体固定连接。当工作人员需要使用挂钩时，由于垫片的两端分别与两个钩体固定连接，直接将挂钩安装在石墨舟上使用即可。

通过上述描述可知，在本实用新型提供的挂钩中，由于垫片的两端分别与两个钩体固定连接，直接将挂钩安装在石墨舟上使用即可，有效地避免了在使用挂钩时，需要工作人员先将垫片安装在挂钩本体上才能使用的情况，降低了工作人员的劳动强度，省去了组合挂钩需要的时间，提高了板式PECVD的工作效率。

附图说明

图1为传统的挂钩本体的结构示意图；

图2为图1所示挂钩本体的俯视图；

图3为传统的垫片的结构示意图；

图4为本实用新型实施例所提供的挂钩的结构示意图；

图5为图4所示挂钩的俯视图；

图6为本实用新型实施例所提供的垫片的结构示意图。

其中图1-6中：01-钩体、02-垫片、03-连接件；

1-钩体、2-垫片。

具体实施方式

本实用新型的核心是提供一种板式PECVD装置用挂钩，该板式PECVD装置用挂钩能够在降低工作人员劳动强度的同时提高板式PECVD的工作效率。

为了使本领域的技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面结合附图和实施方式对本实用新型作进一步的详细说明。