[实用新型]一种板式PECVD装置用挂钩有效
申请号: | 201320718989.0 | 申请日: | 2013-11-13 |
公开(公告)号: | CN203768456U | 公开(公告)日: | 2014-08-13 |
发明(设计)人: | 符昌京;王庆森;许明金;蔡少坤;朱志文;王家道;盛峰;陈国文;王川 | 申请(专利权)人: | 海南英利新能源有限公司 |
主分类号: | C23C16/458 | 分类号: | C23C16/458;H01L31/18 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 魏晓波 |
地址: | 570000 海南省海口市国*** | 国省代码: | 海南;66 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 板式 pecvd 装置 挂钩 | ||
1.一种板式PECVD装置用挂钩,包括挂钩本体和垫片(2),所述挂钩本体包括连接件和两个钩体(1),所述连接件的两端分别与两个所述钩体(1)固定连接,所述连接件上表面的宽度与所述钩体(1)上与所述连接件连接处宽度相等,所述垫片(2)上表面的宽度大于所述连接件上表面的宽度,其特征在于,所述垫片(2)的两端分别与两个所述钩体(1)固定连接。
2.根据权利要求1所述的挂钩,其特征在于,所述挂钩本体和所述垫片(2)为一体式结构。
3.根据权利要求2所述的挂钩,其特征在于,还包括两端分别与所述钩体(1)和所述垫片(2)固定连接的加强筋。
4.根据权利要求3所述的挂钩,其特征在于,所述加强筋与所述挂钩本体为一体式结构。
5.根据权利要求1所述的挂钩,其特征在于,所述垫片(2)的两端通过焊接与两个所述钩体(1)固定连接。
6.根据权利要求1-5中任一项所述的挂钩,其特征在于,所述挂钩为铁质挂钩。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的