[实用新型]测量标记

权利要求书

1.一种测量标记，用于晶片在扫描电子显微镜下的测量，其特征在于，包括：

四个第一标记，所述第一标记位于一曝光单元外的四个顶角处；

第二标记，位于所述曝光单元外的一个顶角处，所述第二标记为“十”字形，由所述“十”字形分割出四个空白区域，位于该顶角处的第一标记位于所述空白区域中，且所述第二标记与该第一标记的相对位置固定不变。

2.如权利要求1所述的测量标记，其特征在于，所述第一标记为正方形，其边长为8-12μm。

3.如权利要求2所述的测量标记，其特征在于，所述第二标记的宽度为4-8μm，长度为40-60μm。

4.如权利要求3所述的测量标记，其特征在于，所述第二标记与其所靠近的第一标记在X方向的间距为2-6μm，在Y方向的间距为2-6μm。

5.如权利要求1所述的测量标记，其特征在于，所述晶片包括多个所述曝光单元，所述第二标记的四个空白处皆对应有一个第一标记。