[实用新型]粗糙度或表面微结构纹理-测量设备

说明书

技术领域

本发明涉及一种粗糙度或表面微结构纹理-测量设备，用来对测量物体的测量物体表面的粗糙度或表面微结构纹理进行测量，其具有：壳体；测头，该测头包括至少一个弯杆，该弯杆基本上设置在壳体中或完全设置在壳体中或从壳体中伸出，其中，至少一个表面触碰体固定在该弯杆上，该表面触碰体用来接触地或非接触地或准非接触地探测测量物体表面的粗糙度或表面微结构纹理；以及机动化的或配设有致动器的驱动器，该驱动器用来使表面触碰体线性地或平面地沿着行驶路径在触碰路径长度上移动，尤其在触碰线或触碰表面上移动；以及至少一个测量系统，用来探测表面触碰体相对于测量物体表面的位置，其中该测量系统包括至少一个设置在弯杆上的压电电阻，其用来探测弯杆的曲度，并因此探测表面触碰体相对于测量物体表面的位置；以及具有驱动电子部件、数据探测电子部件和/或评估电子部件和/或计算机接口。 

背景技术

粗糙度探头和纹理测量探头是证明有效的、广为应用的测量仪器，它用来评估工件的几何形状方面的表面质量，并且用来探测微结构和表面粗糙度。该测量仪器具有由金钢石构成的触碰尖端，或在纹理测量探头中具有金属球或玻璃球，借助机动化的驱动器在表面上推动该探头，从面借助 所述触碰尖端在可预先设定的行驶路径上触碰工件表面。后者可设计成单独的装置或集成在探头中。 

功能原理总是相似的：探针例如借助旋转轴承固定在适合支承的杠杆上，或固定在板簧上并且能够偏转特定的角度。通过工件表面经由触碰尖端感应到的偏转由测量系统大多以电感方式、电容方式或光学方式测得且进行数字化，并且发送到评估电子部件。 

借助这种探头来测量线性纹理。在此，通过使探针机动化地沿着直线在工件表面引导，并且以时间和位置方面都有规律的间隔来探测该纹理幅度，来持续地测量工件的纹理幅度。 

例如在技术测量75,2008,s.99ff.中描述了，采用硅质弯杆来测量表面纹理。与此同时，从一部分作者中还能得出了包括相似内容和更早公开日期的公开文献。它们可从上述公开文献的参考目录中获得。虽然在一些公开文献中已提到了借助弯杆传感器进行快速测量的可能性，但没有地方示出了具体实施的途径。 

发明内容

本发明的目的是，提供一种测量设备，在此测量设备中在出现损坏的情况下能够无问题地且轻易地更换弯杆以及触碰体。 

此目的通过如本发明所限定方案或者在上述的测量设备中出人意料地简单地尤其通过以下方式实现，即，弯杆通过可轻易拆卸的连接器或者说借助可轻易拆卸的连接器与驱动器可拆卸地相连。 

本发明尤其涉及一种表面纹理测量设备，它能够以在人体工效学方面 有利的方式地进行操作，并且与现有技术相比具有明显的优势，并且除了纹理测量设备的现有应用领域以外还开辟了新的应用领域。各部件(例如驱动器、操控电子部件、测量系统以及探针升降器能够共存于壳体中。这种设备的特征在于小巧的体积以及高度的灵活性，并因此尤其还适合用于生产。但是，正好在此处应用按本发明的有利的设计理念。 

本发明提供一种粗糙度或表面微结构纹理-测量设备，其用来对测量物体的测量物体表面的粗糙度或表面微结构纹理进行测量，该测量设备具有：壳体；测头，该测头包括至少一个弯杆，该弯杆基本上设置在壳体中或完全设置在壳体中或从壳体中伸出来，其中，至少一个表面触碰体固定在该弯杆上，该表面触碰体用来接触地或非接触地或准非接触地探测测量物体表面的粗糙度或表面微结构纹理；机动化的或设置有致动器的驱动器，该驱动器用来使表面触碰体线性地或平面地沿着行驶路径移动触碰路径长度；至少一个测量系统，用来探测表面触碰体相对于测量物体表面的位置，其中，该测量系统包括至少一个设置在弯杆上的压电电阻，该压电电阻用来探测所述弯杆的曲度，并因此探测表面触碰体相对于测量物体表面的位置；以及驱动电子部件、数据探测电子部件和/或评估电子部件和/或计算机接口，所述弯杆通过能轻易拆卸的连接器与驱动器能拆卸地相连。 

在如上所述的测量设备中，能轻易拆卸的连接器指插头、耦合器或夹子。 

在如上所述的测量设备中，所述弯杆由硅构成。 

在如上所述的测量设备中，所述测量系统包括多个压电电阻，这些压电电阻构成压电电阻的测量电桥，用来探测弯杆的曲度并因此探测表面触 碰体相对于测量物体表面的位置。 

在如上所述的测量设备中，在弯杆侧在能拆卸的连接器之前设置用于压电电阻的传感器信号的放大器，并且设置有模拟-数字转换器。 

在如上所述的测量设备中，在弯杆侧在能拆卸的连接器之前设置用于测量电桥的传感器信号的放大器，并且设置有模拟-数字转换器。