[实用新型]粗糙度或表面微结构纹理-测量设备

权利要求书

1.一种粗糙度或表面微结构纹理-测量设备，其用来对测量物体的测量物体表面(12)的粗糙度或表面微结构纹理进行测量，该测量设备具有： 

壳体(6)； 

测头，该测头包括至少一个弯杆(1)，该弯杆基本上设置在壳体中或完全设置在壳体中或从壳体(6)中伸出来， 

其中，至少一个表面触碰体(14)固定在该弯杆(1)上，该表面触碰体用来接触地或非接触地或准非接触地探测测量物体表面(12)的粗糙度或表面微结构纹理； 

机动化的或设置有致动器的驱动器，该驱动器用来使表面触碰体(14)线性地或平面地沿着行驶路径移动触碰路径长度； 

至少一个测量系统，用来探测表面触碰体(14)相对于测量物体表面(12)的位置，其中，该测量系统包括至少一个设置在弯杆(1)上的压电电阻，该压电电阻用来探测所述弯杆(1)的曲度，并因此探测表面触碰体(14)相对于测量物体表面(12)的位置；以及 

驱动电子部件、数据探测电子部件和/或评估电子部件(12)和/或计算机接口， 

其特征在于， 

所述弯杆(1)通过能轻易拆卸的连接器与驱动器能拆卸地相连。 

2.根据权利要求1所述的测量设备，其特征在于，能轻易拆卸的连接器指插头、耦合器或夹子。 

3.根据权利要求1或2所述的测量设备，其特征在于，所述弯杆(1) 由硅构成。 

4.根据权利要求1或2所述的测量设备，其特征在于，所述测量系统包括多个压电电阻，这些压电电阻构成压电电阻的测量电桥，用来探测弯杆(1)的曲度并因此探测表面触碰体(14)相对于测量物体表面(12)的位置。 

5.根据权利要求1或2所述的测量设备，其特征在于，在弯杆侧在能拆卸的连接器之前设置用于压电电阻的传感器信号的放大器，并且设置有模拟-数字转换器。 

6.根据权利要求1或2所述的测量设备，其特征在于，在弯杆侧在能拆卸的连接器之前设置用于测量电桥的传感器信号的放大器，并且设置有模拟-数字转换器。 

7.根据权利要求1或2所述的测量设备，其特征在于，所述表面触碰体(14)的触碰尖端(16)具有小于10微米的触碰尖端半径。 

8.根据权利要求1或2所述的测量设备，其特征在于，所述表面触碰体(14)的触碰尖端(16)具有小于100纳米的触碰尖端半径。 

9.根据权利要求8所述的测量设备，其特征在于，在触碰尖端半径小于100纳米的触碰尖端所在的侧面上，所述弯杆(1)在其整个长度上在该触碰尖端(15)和其弯杆-端部之间构造有平坦的、无隆起的表面。 

10.根据权利要求1或2所述的测量设备，其特征在于，在弯杆(1)的第一侧上设置有形式为触碰尖端(15)的第一表面触碰体，其触碰尖端半径小于100纳米，并且在弯杆(1)的第二侧上或在弯杆(1)背向第一侧的第二侧上设置第二表面触碰体，其形式为具有金钢石-触碰尖端的金钢石- 探针。 

11.根据权利要求10所述的测量设备，其特征在于，所述金钢石-触碰尖端具有小于10微米或小于5微米或在1至3微米之间或为2微米的金钢石-触碰尖端半径。 

12.根据权利要求10所述的测量设备，其特征在于，在触碰尖端半径小于100纳米的触碰尖端所在的侧面上，所述弯杆(1)在其整个长度上在该触碰尖端(15)和其弯杆-端部之间构造有平坦的、无隆起的表面。 

13.根据权利要求1或2所述的测量设备，其特征在于，弯杆(1)在弯杆纵向轴线的方向上延伸，并且所述驱动器与弯杆(1)一起能够手动地或者机动地相对于壳体(6)垂直于弯杆纵曲线在与之平行的弯杆平面中移动和/或转动。 

14.根据权利要求13所述的测量设备，其特征在于，在垂直于弯杆纵轴线延伸的方向上看，所述弯杆(1)具有矩形的横截面，该横截面由平行于弯杆纵轴线延伸的弯杆-表面限定，其中，两个相互平行的弯杆表面相互之间具有相当于弯杆(1)的高度的间距，并且在平行于矩形横截面的方向上看分别在弯杆(1)的宽度上延伸，其中，弯杆(1)的宽度大于所述弯杆(1)的高度，并且其中，弯杆平面平行于所述的两个相互平行的弯杆表面进行延伸。