[实用新型]提拉法制单晶硅棒的连接装置和制单晶硅棒设备

权利要求书

1.一种提拉法制单晶硅棒的连接装置，其特征在于，包括：

安装部（10），所述安装部（10）包括用于安装籽晶的安装孔（11）；

连接部（20），与所述安装部（10）连接，所述连接部（20）包括与所述安装孔（11）同轴设置的连接孔（21）。

2.根据权利要求1所述的连接装置，其特征在于，所述连接装置还包括隔热部（30），所述安装部（10）连接在所述隔热部（30）的一端，所述连接部（20）连接在所述隔热部（30）的另一端。

3.根据权利要求2所述的连接装置，其特征在于，所述安装部（10）包括圆柱段（12）和锥形段（13），所述圆柱段（12）与所述锥形段（13）的大径端连接，所述隔热部（30）与所述圆柱段（12）连接。

4.根据权利要求3所述的连接装置，其特征在于，所述隔热部（30）的直径大于或等于所述连接部（20）的直径。

5.根据权利要求1所述的连接装置，其特征在于，所述安装孔（11）沿靠近所述连接孔（21）的方向依次包括第一段（111）和第二段（112），所述第一段（111）的直径小于所述第二段（112）的直径。

6.根据权利要求1所述的连接装置，其特征在于，所述连接孔（21）沿远离所述安装孔（11）的方向依次包括大径段（211）和小径段（212）。

7.根据权利要求6所述的连接装置，其特征在于，所述连接装置还包括用于夹持提拉线缆的夹线部（40），所述夹线部（40）设置在所述大径段（211）内，所述夹线部（40）的直径大于所述小径段（212）的直径，所述夹线部（40）包括与所述安装孔（11）同轴设置的夹线孔（41），所述夹线孔（41）的直径小于或等于所述小径段（212）的直径。

8.根据权利要求7所述的连接装置，其特征在于，所述夹线部（40）包括多个夹片（42），所述多个夹片（42）上均开设有轴向开口（411），所述多个轴向开口（411）组成所述夹线孔（41）。

9.根据权利要求6所述的连接装置，其特征在于，所述连接装置还包括端盖（50），所述端盖（50）设置在所述连接部（20）的远离所述安装部（10）的一端，所述端盖（50）包括与所述安装孔（11）同轴设置的过线孔（51），所述过线孔（51）的直径小于或等于所述小径段（212）的直径。

10.一种制单晶硅棒设备，包括熔硅坩埚和位于所述熔硅坩埚上方的提拉线缆，其特征在于，所述制单晶硅棒设备还包括权利要求1至9中任一项所述的连接装置，所述提拉线缆安装在所述连接装置的连接部（20）的连接孔（21）内，所述连接装置的安装部（10）朝向所述熔硅坩埚设置。