[实用新型]一种自动测试晶硅电池扩散方块电阻的装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及光伏电站领域中的晶体硅太阳能电池扩散工艺，尤其涉及一种自动测试晶硅电池扩散方块电阻的装置。

背景技术

太阳能电池的扩散是一种高温掺杂制程，主要是将掺杂气体导入放有硅片的高温炉管中,将杂质扩散到硅片内以改变半导体基片扩散区域的导电类型或表面杂质浓度的一种方法。在炉管内由于晶体表面附近杂质原子与硅晶体中杂质原子存在浓度梯度，从而由热运动形成杂质原子浓度再分布。

方块电阻又称薄层电阻，其定义为正方形的半导体薄层，在电流方向所呈现的电阻，单位为欧姆每方。简单来说，方块电阻（Sheet Resistance）就是指导电材料单位厚度单位面积上的电阻值，简称方阻，理想情况下它等于该材料的电阻率除以厚度。

在扩散后方块电阻的测试中，目前大多数公司采用的办法是使用RTS探针手动放片测试，然后在取片的方式，这种方式一次只能测试一个点的方块电阻，测试方式繁杂，大大影响了方块电阻的测试效率，而且测试过程中，常常由于手动放置硅片位置的差异和操作人员的人为习惯，方块电阻的测量上也存在很多误差。

实用新型内容

实用新型目的：本实用新型的目的在于克服现有技术的不足提供一种自动测试晶硅电池扩散方块电阻的装置。

技术方案：本实用新型所述的自动测试晶硅电池扩散方块电阻的装置，包括载物台、步进装置、旋转轴和探针；

载物台重心下方设置正多边形凹槽；

步进装置由两条平行丝杠和步进电机组成，位于载物台下方；正多边形凹槽重心与步进装置的两条丝杠中心线重合；

载物台步进方向依次设置由步进电机驱动升降的探针和由步进电机驱动升降并可旋转的旋转轴；

探针设置在载物台上方，与步进装置的两条丝杠中心线交叉垂直；

旋转轴设置在载物台下方，与步进装置的两条丝杠中心线交叉垂直，旋转轴与探针所在平行线间距离为150mm；

旋转轴为柱形结构，横截面为与正多边形凹槽匹配的正多边形。

载物台为正圆形平台。

载物台直径与方块电阻对角线长度相等。

正多边形凹槽边数为3-6边。

探针为测试方块电阻的四探针。

发明原理：将扩散后方块电阻手动放置于载物台上，步进电机驱动丝杠运动将方块电阻带到探针下方，探针对准方块电阻中心下降接触测试；测得电阻值后，提升探针，步进电机驱动丝杠前进150mm，旋转轴提升，插入凹槽，探针下降接触方块电阻测试阻值；测得电阻值后，提升探针，旋转轴带动载物台旋转90°，探针下降接触方块电阻测试阻值，重复3次；对方块电阻中心点和各角阻值测试完毕后，旋转轴下降，步进电机驱动丝杠前进进行下一步骤，下一块方块电阻重复此过程。

有益效果：1、本实用新型自动测试晶硅电池扩散方块电阻的装置提高了方块电阻测试点选择的准确性，减少了测量中存在的误差；测试装置设计结构简单，经济实用，与手动测试相比，生产过程中的因误操作而损伤并产生碎片的比例也有一定的下降；并且能够在扩散结束后更加快速测试方块电阻，大大提高了工作效率，进一步提升了生产线的产能。2、如采用正圆形载物台，载物台重心和中心重合，便于设置底部凹槽。3、方块电阻对角线长度与圆形载物台直径相同便于确定方形电阻中心。

附图说明

图1为本实用新型自动测试晶硅电池扩散方块电阻的装置立体结构图。

具体实施方式

下面对本实用新型技术方案进行详细说明，但是本实用新型的保护范围不局限于所述实施例。

实施例1

本实用新型所述自动测试晶硅电池扩散方块电阻的装置，包括正圆形载物台1、步进装置2、旋转轴4和测试方块电阻的四探针5；

载物台1直径与方块电阻对角线长度相等，重心下方设置正六边形凹槽2；

步进装置3由两条平行丝杠和步进电机组成，位于载物台1下方；正六边形凹槽2重心与步进装置3的两条丝杠中心线重合；

载物台1步进方向依次设置由步进电机驱动升降的探针5和由步进电机驱动升降并可旋转的旋转轴4；

探针5设置在载物台1上方，与步进装置3的两条丝杠中心线交叉垂直；

旋转轴4设置在载物台1下方，与步进装置3的两条丝杠中心线交叉垂直，旋转轴4与探针5所在平行线间距离为150mm；

旋转轴4为柱形结构，横截面为与正多边形凹槽2匹配的正多边形。