[实用新型]一种自动测试晶硅电池扩散方块电阻的装置有效
申请号: | 201320704521.6 | 申请日: | 2013-11-07 |
公开(公告)号: | CN203630226U | 公开(公告)日: | 2014-06-04 |
发明(设计)人: | 赵雷;黄钧林;简磊;勾宪芳 | 申请(专利权)人: | 中节能太阳能科技(镇江)有限公司 |
主分类号: | G01R27/02 | 分类号: | G01R27/02 |
代理公司: | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人: | 缪友菊 |
地址: | 212132 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 自动 测试 电池 扩散 方块 电阻 装置 | ||
1.一种自动测试晶硅电池扩散方块电阻的装置,其特征在于:包括载物台(1)、步进装置(3)、旋转轴(4)和探针(5);
所述载物台(1)重心下方设置正多边形凹槽(2);
所述步进装置(3)由两条平行丝杠和步进电机组成,位于载物台(1)下方;正多边形凹槽(2)重心与步进装置(3)的两条丝杠中心线重合;
所述载物台(1)步进方向依次设置由步进电机驱动升降的探针(5)和由步进电机驱动升降并可旋转的旋转轴(4);
所述探针(5)设置在载物台(1)上方,与步进装置(3)的两条丝杠中心线交叉垂直;
所述旋转轴(4)设置在载物台(1)下方,与步进装置(3)的两条丝杠中心线交叉垂直,旋转轴(4)与探针(5)所在平行线间距离为120mm至150mm;
所述旋转轴(4)为柱形结构,横截面为与正多边形凹槽(2)匹配的正多边形。
2.根据权利要求1所述的自动测试晶硅电池扩散方块电阻的装置,其特征在于:所述载物台(1)为正圆形平台。
3.根据权利要求2所述的自动测试晶硅电池扩散方块电阻的装置,其特征在于:所述载物台(1)直径与方块电阻对角线长度相等。
4.根据权利要求1所述的自动测试晶硅电池扩散方块电阻的装置,其特征在于:所述正多边形凹槽(2)边数为3-6边。
5.根据权利要求1所述的自动测试晶硅电池扩散方块电阻的装置,其特征在于:所述探针(5)为测试方块电阻的四探针。
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