[实用新型]柔性基板处理装置

权利要求书

1.一种柔性基板处理装置，包括用于盛放处理液的处理槽、位于所述处理液液面下方的定位辊轮、位于所述处理液液面上方的主动辊轮和被动辊轮，其特征在于，所述柔性基板处理装置还包括：

用于检测卷绕在所述主动辊轮、所述定位辊轮以及所述被动辊轮上的柔性基板的实时线速度，并根据所述实时线速度计算出所述定位辊轮实时位置数据的检测计算装置，所述检测计算装置与所述主动辊轮或被动辊轮连接；

用于根据所述实时位置数据实时调整所述定位辊轮的位置的位移调整装置，所述位移调整装置分别与所述检测计算装置以及所述定位辊轮连接。

2.根据权利要求1所述的柔性基板处理装置，其特征在于，所述检测计算装置为距离传感器和计算终端，所述距离传感器与所述主动辊轮或所述被动辊轮相连接，所述距离传感器与所述计算终端通信连接。

3.根据权利要求1所述的柔性基板处理装置，其特征在于，所述检测计算装置包括激光厚度检测仪和计算终端，所述激光厚度检测仪与所述主动辊轮或所述被动辊轮相连接，所述激光厚度检测仪与所述计算终端通信连接。

4.根据权利要求2或3所述的柔性基板处理装置，其特征在于，所述计算终端为电脑或服务器。

5.根据权利要求1所述的柔性基板处理装置，其特征在于，所述位移调整装置为步进电机及控制带，所述步进电机通过所述控制带与所述定位辊轮相连。

6.根据权利要求5所述的柔性基板处理装置，其特征在于，所述控制带为丝杠。