[实用新型]自锁式真空舱门启闭装置

说明书

技术领域

本实用新型与真空舱的阀门启闭装置有关，更详而言之，乃特指一种除可带动阀门于一开启位置以及一闭锁位置间切换外，更可于闭锁位置时自动产生一锁固力量的自锁式真空舱门启闭装置。

背景技术

晶圆、TFT LCD玻璃基板于制程中常需于真空环境下处理，一般多于一可抽真空的真空舱内进行，真空舱通常包含有一可开启/关闭的阀门，该阀门由一启闭装置驱动动作，当阀门开启时加工物件可自阀门进出真空舱，加工物件送入真空舱后，则关闭阀门使真空舱呈现密封状况后，再进行抽气动作使真空舱内产生真空状态。

习知的启闭装置大多由一气压缸或油压缸直接或透过齿条、齿轮等传动机构后，驱动阀门与真空舱密合。然而，当阀门与真空舱密合后，为保持真空舱的气密效果，气压缸或油压缸需持续以气压或油压将阀门抵紧于真空舱，以防止阀门与真空舱失去密合。然而，机器经使用一段时间后，难免会出现磨损问题，尤其气压缸或油压缸容易因为管路问题而出现气压/油压不足，而导致阀门与真空舱失去密合、无法维护真空状态。

与真空舱门启闭装置相关的前案如中国TW430012号专利，一种真空舱门的启闭机构，其主要包含有一框架、一第一汽缸、一第二汽缸及一阀门，该第一汽缸固定于该框架上，该第二汽缸固定于该第一汽缸，该第二汽缸可相对该第一汽缸上下运动，该阀门与第二汽缸间设有一杠杆组。该第一汽缸推动第二汽缸及阀门向上，使阀门对正该真空舱门，再驱动第二汽缸缩回，使该杠杆组带动该阀门水平推向该真空舱门，而确实将该真空舱门加以密合。但此一专利阀门需要产生垂直及水平两段动作，会延长动作时间及增加结构体积、成本。

此外，CN101787834B号专利，一种卧式舱的舱门启闭装置，在舱体开口端外侧壁的设置多组自动锁紧机构动作，以达到将舱门与舱体锁紧的目的。但此一专利需要分别驱动、控制舱门启闭装置以及自动锁紧机构，亦非完美解决的方案。

实用新型内容

本实用新型的目的在于解决上述习用技术产生的缺失与不便之处，提供一种自锁式真空舱门启闭装置，利用多个组件所组成的连杆机构来驱动阀门于一开启位置以及一闭锁位置间切换，并可于闭锁位置时自动产生一锁固力量以抵抗阀门的反向作用力，防止阀门因驱动缸动力不足等因素，而造成真空舱失去真空密闭的意外。

为实现上述目的，本实用新型公开了一种自锁式真空舱门启闭装置，其特征在于包含：

一框架，其为以一座体、两侧框及一边框所组成的中空框体；

一驱动缸，其设置于该座体处，且具有一可活动伸出缩入的驱动轴；

一横杆，其设置于该驱动轴的一端处；

至少一第一杆件，其一端枢接于该横杆的一端处；

至少一旋动杆件，其上设有呈三角形分布的第一枢孔、第二枢孔及第三枢孔，其中，该第一枢孔供第一杆件相对于横杆的另一端枢接；

至少一调整座，其连接于该边框处，以枢接于该第二枢孔；

至少一第二杆件，其一端枢接于第三枢孔；

至少一滑动块，其可滑动地设置于该侧框处，并与该第二杆件相对于第三枢孔的另一端枢接；以及

至少一阀杆，该阀杆一端连接于该滑动块，另一端连接于一真空舱的一阀门以使阀杆带动该阀门于一开启位置以及一闭锁位置间切换。

其中，该两侧框分别设于座体的两端处，而该边框设于侧框相对于座体的另一端处。

其中，该驱动缸的驱动轴往边框方向产生伸出动作，而往座体方向产生缩入动作。

其中，该旋动杆件与第二杆件于闭锁位置时该第二枢孔及第三枢孔所呈的直线与第二杆件轴心于第一杆件侧的夹角为170度～190度。

其中，该旋动杆件与第二杆件于闭锁位置时该第二枢孔及第三枢孔所呈的直线与第二杆件轴心呈一直线排列且平行于驱动缸轴心。

其中，该调整座与边框间设有一调整调整座与边框的距离的调整螺件。

其中，该调整螺件的轴心平行于驱动轴轴心。

其中，该滑动块以一滑动件设置于侧框处，且该滑动件的轴心平行于驱动轴轴心。

其中，该滑动件为一线性滑轨。

其中，该阀门具有一门框架及一门板，该门框架连接于座体相对于驱动缸的另一侧，该门框架内设有一平行于驱动轴轴心方向的滑动槽，以及一穿设过该滑动槽的开口，该阀杆连接于该门板且该门板受阀杆的带动于滑动槽内移动以使门板于闭锁位置时密封于该开口而于开启位置时使该开口开启。

通过上述结构可知，本实用新型的自锁式真空舱门启闭装置实现了如下技术效果：