[实用新型]自锁式真空舱门启闭装置

权利要求书

1.一种自锁式真空舱门启闭装置，其特征在于包含：

一框架，其为以一座体、两侧框及一边框所组成的中空框体；

一驱动缸，其设置于该座体处，且具有一可活动伸出缩入的驱动轴；

一横杆，其设置于该驱动轴的一端处；

至少一第一杆件，其一端枢接于该横杆的一端处；

至少一旋动杆件，其上设有呈三角形分布的第一枢孔、第二枢孔及第三枢孔，其中，该第一枢孔供第一杆件相对于横杆的另一端枢接；

至少一调整座，其连接于该边框处，以枢接于该第二枢孔；

至少一第二杆件，其一端枢接于第三枢孔；

至少一滑动块，其可滑动地设置于该侧框处，并与该第二杆件相对于第三枢孔的另一端枢接；以及

至少一阀杆，该阀杆一端连接于该滑动块，另一端连接于一真空舱的一阀门以使阀杆带动该阀门于一开启位置以及一闭锁位置间切换。

2.如权利要求1所述的自锁式真空舱门启闭装置，其特征在于，该两侧框分别设于座体的两端处，而该边框设于侧框相对于座体的另一端处。

3.如权利要求2所述的自锁式真空舱门启闭装置，其特征在于，该驱动缸的驱动轴往边框方向产生伸出动作，而往座体方向产生缩入动作。

4.如权利要求1所述的自锁式真空舱门启闭装置，其特征在于，该旋动杆件与第二杆件于闭锁位置时该第二枢孔及第三枢孔所呈的直线与第二杆件轴心于第一杆件侧的夹角为170度～190度。

5.如权利要求1所述的自锁式真空舱门启闭装置，其特征在于，该旋动杆件与第二杆件于闭锁位置时该第二枢孔及第三枢孔所呈的直线与第二杆件轴心呈一直线排列且平行于驱动缸轴心。

6.如权利要求1所述的自锁式真空舱门启闭装置，其特征在于，该调整座与边框间设有一调整调整座与边框的距离的调整螺件。

7.如权利要求6所述的自锁式真空舱门启闭装置，其特征在于，该调整螺件的轴心平行于驱动轴轴心。

8.如权利要求1所述的自锁式真空舱门启闭装置，其特征在于，该滑动块以一滑动件设置于侧框处，且该滑动件的轴心平行于驱动轴轴心。

9.如权利要求8所述的自锁式真空舱门启闭装置，其特征在于，该滑动件为一线性滑轨。

10.如权利要求1所述的自锁式真空舱门启闭装置，其特征在于，该阀门具有一门框架及一门板，该门框架连接于座体相对于驱动缸的另一侧，该门框架内设有一平行于驱动轴轴心方向的滑动槽，以及一穿设过该滑动槽的开口，该阀杆连接于该门板且该门板受阀杆的带动于滑动槽内移动以使门板于闭锁位置时密封于该开口而于开启位置时使该开口开启。