[实用新型]纳米压印对准装置有效

专利信息
申请号: 201320675247.4 申请日: 2013-10-30
公开(公告)号: CN203535382U 公开(公告)日: 2014-04-09
发明(设计)人: 史晓华;刘晓成 申请(专利权)人: 苏州光舵微纳科技有限公司
主分类号: G03F9/00 分类号: G03F9/00
代理公司: 苏州华博知识产权代理有限公司 32232 代理人: 魏亮芳
地址: 215513 江苏省苏州市常熟市常熟*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 纳米 压印 对准 装置
【说明书】:

技术领域

实用新型涉及一种对准装置,特别涉及一种纳米压印对准装置。

背景技术

微纳米压印技术及设备是实现廉价、快速的微纳图案化的核心技术及设备,其在科研应用及各种大规模产业化应用方面都具有重大的市场前景。要实现对微纳图案的重复有序压印,即在已有图案的基底上再进行图案压印制作,需要所使用的压印设备具有对准机构及功能。

目前已有的微结构图案对准机构,是应用于光刻机之上的对准机构,相比于光刻机的对准装置,纳米压印设备的对准装置的不同在于:实现模板与基片对准后,模板与基片需要相互紧密挤压并固定(相互锁定,不能再有相对移动),然后送入压印腔进行压印操作;而光刻机的对准机构是在实现两个片子调整对准后仅需要模板与基片贴住即可,且不用再移动。

实用新型内容

本实用新型的目的就是针对上述问题,提供一种可以实现模板与基片更好地紧密挤压和固定的纳米压印对准装置。

为了实现上述目的,本实用新型提供了以下技术方案:纳米压印对准装置,包括视觉观察机构,其还包括:

分别用于固定被测物的第一、第二平台,其设置于上述视觉观察机构下方,第一平台安装于一平台座上,第二平台连接一球轴机构、通过该球轴机构进行多方向多角度的摆动;

该球轴机构的下方还设置有用于驱动上述第二平台多个方向运动的多个驱动机构。

优选地,上述的球轴机构包括柱体以及安装于该柱体上并在该柱体上自由转动的球体,该球体还连接上述的第二平台。

优选地,上述的平台座上设置有滑轨,上述第一平台的一侧滑动连接于该滑轨内。

优选地,上述的多个驱动机构包括从上至下依次设置的旋转运动驱动机构、XY轴运动驱动机构和Z轴运动驱动机构。

优选地,上述的第二平台上还设置有夹紧机构。

采用以上技术方案的有益效果在于:本实用新型将一个平台安装在一个平台座上,另一个平台连接在一球轴机构上,并在球轴机构下方设置多个驱动机构,通过球轴机构进行的多方向多角度的摆动,使得模板和基片(即模板和基片)可以被调整平行,然后再通过多个驱动机构的驱动作用和视觉观察机构,使得模板和基片无限接近,并将其上的十字靶标对齐。因此,利用上述技术方案,本实用新型的装置相比于现有技术可以实现模板与基片更好地紧密挤压和固定,从而更优地实现对微纳图案的重复有序压印。

附图说明

图1是本实用新型的纳米压印对准装置的主视图。

图2是本实用新型的纳米压印对准装置的右视图。

图3是本实用新型的纳米压印对准装置的立体图。

图4是本实用新型的纳米压印对准装置的球轴的结构示意图。

其中,1.视觉观察机构 11.显微镜 12.CCD相机 13.显微镜光源 14.显微镜安装座 2.第一平台 3.第二平台 4.平台座 41.滑轨 5.球轴机构 51.柱体 52.球体 6.旋转运动驱动机构 7. XY轴运动驱动机构 8. Z轴运动驱动机构 9.夹紧机构。

具体实施方式

下面结合附图详细说明本实用新型的优选实施方式。

如图1-3所示,本实用新型的纳米压印对准装置的第一种实施方式中,其包括:视觉观察机构1,该视觉观察机构1具体可以包括显微镜11、CCD相机12、显微镜光源13和显微镜安装座14,其作用是观察模板和基片的中心是否对齐,视觉观察机构1其实并不限于采用如上的部件,其为现有技术中可以获知的,在此不再赘述;分别用于固定被测物的两个平台,即第一平台2和第二平台3,它们都设置于视觉观察机构1的下方,其中,第一平台2安装于一平台座4上,第二平台3连接一球轴机构5、通过该球轴机构5进行多方向多角度的摆动;该球轴机构5的下方还设置有用于驱动上述平台多个方向运动的多个驱动机构,该驱动机构可以根据需要进行调整并安装,如驱动第二平台3上下运动、左右运动等的驱动机构。通过球轴机构5进行的多方向多角度的摆动,使得置于第一平台2和第二平台3上的模板和基片可以被调整平行,然后再通过多个驱动机构的驱动作用和视觉观察机构,使得模板和基片无限接近,并将其上的十字靶标对齐。因此,通过该技术方案,本装置相比于现有技术可以实现模板与基片更好地紧密挤压和固定,从而更优地实现对微纳图案的重复有序压印。

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