[实用新型]纳米压印对准装置有效
| 申请号： | 201320675247.4 | 申请日： | 2013-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN203535382U | 公开（公告）日： | 2014-04-09 |
| 发明（设计）人： | 史晓华;刘晓成 | 申请（专利权）人： | 苏州光舵微纳科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00 |
| 代理公司： | 苏州华博知识产权代理有限公司 32232 | 代理人： | 魏亮芳 |
| 地址： | 215513 江苏省苏州市常熟市常熟*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 纳米 压印 对准 装置 | ||
【权利要求书】：
1. 纳米压印对准装置，包括视觉观察机构，其特征在于：还包括：
分别用于固定被测物的第一、第二平台，其设置于所述视觉
观察机构下方，第一平台安装于一平台座上，第二平台连接一球轴机构、通过所述球轴机构进行多方向多角度的摆动；
所述球轴机构的下方还设置有用于驱动所述第二平台多个方向运动的多个驱动机构。
2. 根据权利要求1所述的纳米压印对准装置，其特征在于：所述球轴机构包括柱体以及安装于所述柱体上并在所述柱体上自由转动的球体，所述球体还连接所述第二平台。
3. 根据权利要求1所述的纳米压印对准装置，其特征在于：所述平台座上设置有滑轨，所述第一平台的一侧滑动连接于所述滑轨内。
4. 根据权利要求1所述的纳米压印对准装置，其特征在于：所述多个驱动机构包括从上至下依次设置的旋转运动驱动机构、XY轴运动驱动机构和Z轴运动驱动机构。
5. 根据权利要求1所述的纳米压印对准装置，其特征在于：所述第二平台上还设置有夹紧机构。
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