[实用新型]三维相移电子散斑干涉仪

权利要求书

1.一种三维相移电子散斑干涉仪，其特征在于：它包括仪器座（1）和固定在该仪器座上面的仪器壳（2），所述仪器壳（2）上安装有分别布置在该仪器壳上侧、下侧、左侧、右侧的四个反射镜套筒（3），每个反射镜套筒（3）中均安装有一反射镜（4），所述仪器壳（2）内设有：一固体绿光激光器（5）、一分光棱镜（6）、一压电陶瓷相移器（7）、以及一CCD摄像头（8），所述CCD摄像头（8）与计算机电连接，所述分光棱镜（6）接收所述固体绿光激光器（5）发出的激光束并将该激光束一分为四，由分光棱镜（6）分出的这四束光分别射向所述的四个反射镜（4），并由所述反射镜反射到受检物表面。

2.根据权利要求1所述的三维相移电子散斑干涉仪，其特征在于：所述仪器座（1）上开设有四个呈矩形分布的竖直通孔。

3.根据权利要求1或2所述的三维相移电子散斑干涉仪，其特征在于：所述三维相移电子散斑干涉仪还包括一个能够将所述仪器座（1）和仪器壳（2）收容在其内的防尘罩。