[实用新型]相移剪切电子散斑干涉仪有效
| 申请号： | 201320669951.9 | 申请日： | 2013-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN203534518U | 公开（公告）日： | 2014-04-09 |
| 发明（设计）人： | 李鹰 | 申请（专利权）人： | 卓力特光电仪器(苏州)有限公司 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 范晴 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 相移 剪切 电子 干涉仪 | ||
1.一种相移剪切电子散斑干涉仪，其特征在于：它包括水平布置的光学平台（1）、以及布置在该光学平台（1）台面上的测试架（2）和激光发射装置（5）；
所述激光发射装置（5）包括箱体（8）和设于该箱体内的激光器（9），所述箱体（8）的箱体壁上开设有透光孔（10），且该透光孔（10）处安装有位于所述箱体外部、且位于所述激光器的激光出射光路上的扩束镜（11），所述测试架（2）上固定有位于从所述扩束镜（11）出射的光束的光路上的受检物（a），还包括向所述受检物施加荷载的加载装置；
所述箱体（8）的上面固定设置一壳体（3），该壳体（3）上安装有位于从受检物（a）表面反射的光束的光路上的透镜镜头（4），该壳体（3）内安装有：位于从透镜镜头（4）透射出的光束的光路上且用于得到偏振方向相互垂直的两束光的剪切器（12）、以及位于从所述剪切器（12）出射的光束的光路上的CCD摄像机（6），所述CCD摄像机（6）与计算机相连。
2.根据权利要求1所述的相移剪切电子散斑干涉仪，其特征在于：所述测试架（2）的底部设有一磁性底座（7）上，该磁性底座（7）吸附固定在所述光学平台（1）的台面上。
3.根据权利要求1所述的相移剪切电子散斑干涉仪，其特征在于：所述激光发射装置（5）通过螺丝固定在所述光学平台（1）的台面上。
4.根据权利要求1或2或3所述的相移剪切电子散斑干涉仪，其特征在于：所述光学平台（1）上布置有将所述测试架（2）、激光发射装置（5）和CCD摄像机（6）收容在其内的防尘罩。
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