[实用新型]一种柔性薄膜触觉传感器

说明书

技术领域

本实用新型涉及的是一种触觉传感器，具体是涉及一种基于碳纳米管/电活性聚合物薄膜的柔性触觉传感器。 

背景技术

触觉感知传感器在传感器领域具有重要的影响力和广泛的应用背景，对机器人电子肌肤、特殊人群医疗保健、健康监控、训练量化等方面具有至关重要的意义。随着微电子技术的发展和各种敏感材料的出现，已经提出多种多样的触觉感知传感器，但大都处于实验室阶段。当前应用广泛的硅基触觉传感器价格昂贵，缺乏柔顺性，形状单一，加工需要昂贵的仪器和高净化环境，生物兼容性差。相对而言，柔性聚合物有许多优势，包括高柔性，可以大幅度弯曲，生物兼容性强等。因此，选择柔性材料制备触觉感知传感器备受关注。日本东京大学Someya T等[Proc.Natl.Acad.Sci.2004,101,9966]报道了一种基于有机场效应管和导电聚合物的触觉传感器。采用有机场效应管代替传统的电子元件，而且有机元件电路具有其固有的柔性和便宜的成本，可提供一种理想的实现具有实用价值的人造皮肤的解决途径。国立台湾大学的Cheng M-Y等[J.Micromech.Microeng.2009,19,115001]报道了一种带有浮动电极的电容式柔性触觉传感器阵列，可以作为人造皮肤用于机器人感知技术。 

电活性聚合物作为一种新型高分子智能材料，因其独特的电学及机械性能而在智能传感、生物医疗、健康监控等领域的应用需求日益高涨。在电活性聚合物表面施加压力作用时因内部电畴的电偶极矩压缩而在其表面上产生电荷极化，可用于制作压电传感器和能量收集器等。反之，电活性聚合物在施加电场作用下产生弯曲、收缩、膨胀等形变并产生力学响应，可用于实现压电执行器和谐振器等。该类材料具有非常卓越的柔韧性,具有较高的机电转换效率，易于成形且不易疲劳损坏。以高分子聚合物为主要结构材料,不仅重量轻、能耗低，生物兼容性优于半导体材料，而且加工工艺不需使用半导体加工设备，制造成本较低，是未来新一代柔性传感器件发展的一个重要方向。随着小型化及可穿戴、可折叠柔性电子器件概念的提出，在电活性聚合物薄膜上下表面制备柔性电极作为传感元件，尤其适用于可穿戴织物、环境监测和人体运动监测等领域。自日本科学家S.Iijima发现碳纳米管(CNTs)以来，因其具有1000-10000S/cm的高电导系数，载流子容量达10⁹Acm-2，拉伸强度在60GPa以上，成为制备柔性电极薄膜的理想材料。碳纳米管薄膜制备大多采用化学气相沉积法（CVD），在衬底表面生长碳纳米管，而后在上面制备电极；其它方法还有涂覆法和喷墨打印法，即先在衬底上 制作电极，而后将碳纳米管溶液涂覆或打印到电极之间。CVD方法要在高温下加入催化剂生长，工序复杂，同时效率低，设备依赖性强，不适用于电活性聚合物薄膜基体。涂覆法和喷墨打印法克服了CVD方法的缺陷，但薄膜制备的均匀性差，碳纳米管与电极间的接触不牢固，涂布或打印区域选择性也难以精确控制。本实用新型采用静电诱导自组装方法在电活性聚合物薄膜基体上下表面制备碳纳米管复合薄膜作为成对柔顺电极层，形成三明治结构柔性薄膜，周边电极锚区经金属电极引线与电荷放大器连接于一体构成触觉传感器，将该传感器紧密贴合于被测物体表面即可用于触觉感知的传感测量，具有可裁剪为任意形状、结构简单、快速响应等特点。 

发明内容

本实用新型针对触觉传感器制备方法上的不足，构造了一种柔性薄膜触觉传感器，由电活性聚合物薄膜基体、碳纳米管复合薄膜电极层、电极锚区、聚酰亚胺薄膜保护层构成，采用静电诱导自组装方法在电活性聚合物薄膜基体上下表面制作碳纳米管复合薄膜作为成对柔顺电极层，形成三明治结构柔性薄膜，周边电极锚区经金属电极引线与电荷放大器连接于一体构成触觉传感器件，将该薄膜传感器紧密贴合于被测物体表面即可用于触觉感知的传感测量。 

所述柔性薄膜传感器是以电活性聚合物薄膜为柔性基体，包括聚偏氟乙烯、聚四氟乙烯、聚四氟乙烯-全氟丙基乙烯基醚、聚四氟乙烯-六氟丙烯、及其以聚四氟乙烯为基的偏氟、四氟乙烯和六氟丙烯三元共聚物，或者上述聚合物复合薄膜。 

所述碳纳米管复合薄膜电极层被覆于电活性聚合物基体上下两表面。 

所述碳纳米管复合薄膜电极层是采用静电诱导自组装方法构筑的聚电解质/碳纳米管网络层状薄膜，其厚度可通过自组装层数实现纳米级可控，单层厚度为3-6纳米，薄膜层界面衔接牢固稳定，不易脱落。 

所述三明治结构柔性薄膜可根据需要裁剪为任意形状，而且透光率达80%以上。