[实用新型]一种化学液相沉积装置

说明书

技术领域

本实用新型属于化学液相沉积设备技术领域，涉及一种化学液相沉积装置。

背景技术

随着碳／碳、碳／陶等复合材料的不断发展，复合材料的致密化是主要工艺瓶颈，目前用来增加碳／碳、碳／陶等复合材料致密化，主要采用化学气相沉积装置，实现碳／碳、碳／陶等复合材料增密。然而这种化学气相沉积装置的增密工艺过程及时间较长，一般从数百小时乃致数月才能完成。存在着工作效率极低，大大的浪费了能源和时间，产品成本高等缺陷。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服上述现有技术的缺点，提供一种化学液相沉积装置，该装置采用螺旋管式冷凝器，能够提高废气回收率，减小排放量。

本实用新型的目的是通过以下技术方案来解决的：

这种化学液相沉积装置，包括炉体和真空系统；所述炉体左面的真空系统与炉体的顶端连接，炉体的上部分别连接有冷凝器、冷却水进水管和出水管，炉体的中部设有引电引出法兰，炉体的底部设置底座，底座上放置被加热制品，被加热制品的中心置有发热体，被加热制品的外围设有感应器，感应器与变频电源连接，在炉体的下部内置有含碳元素低分子化合物液体，它通过管路接入液体补给器，水箱通过管路与炉体上部的的冷凝器、冷却水进水管和出水管分别连接进行水循环；所述冷凝器为螺旋管式冷凝器，在螺旋管式冷凝器的壳体内设置有螺旋通流管，所述螺旋通流管外设置有冷凝片。

上述螺旋管式冷凝器的螺旋通流管在壳体内沿壳体的中心轴螺旋盘绕，且在径向设置有多层盘绕的螺旋通流管。

上述冷凝片为环片状，若干冷凝片间隔套设在螺旋通流管上。

上述冷凝片为矩形片状，多个冷凝片成发散状围绕壳体的中心轴布置，所述螺旋通流管依次穿过各冷凝片。

本实用新型具有以下有益效果：

本实用新型的化学液相沉积装置采用螺旋管式冷凝器，采用螺旋通流管加关外冷凝片的形式，相比现有技术的板式冷凝器有效增大了流通截面积，并且冷凝面积比现有板式冷凝器提高三十多倍。有效提高了废气回收率，减小了排放量，减轻了环境污染。

附图说明

图1为本实用新型的感应式加热主视剖视图；

图2为本实用新型的电阻加热式主视剖视图；

图3为本实用新型的螺旋管式冷凝器剖视图；

图4为图3的俯视图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型做进一步详细描述：

参照图1所示，该图为感应式加热主视剖面图，包括炉体3、真空系统1、液体补给器2、水箱7、电源8。炉体3是双层结构，内外层之间可注入冷水或气体。炉体3左面为真空系统1，与炉体3的顶端相连接。炉体3的上部分别连接有冷凝器12、冷却水进水管13和出水管14。炉体3的中部设有引电引出法兰9。在炉体3的底部设有底座10。底座10上放置被加热制品5。被加热制品5的中心置有发热体4，被加热制品5的外围设有感应器6，感应器6与变频电源8连接。在炉体3的下部内置有含碳元素低分子化合物液体11.它通过管路接入液体补给器2。水箱7通过管路与炉体3上部的冷凝器12、冷却水进水管13和出水管14分别连接进行水循环。

由于含碳元素低分子化合物液体11受热后，一部分元素进入被加热制品5内，另一部分被蒸发，使含碳元素低分子化合物液体11的液位降低。因此，要经常观察其液位变化，随时通过液体补给器2补充液体。图2为图1的另一种实施方式，其区别在于被加热制品5的中心只置有发热体4，发热体4与直流或交流电源8连接，取消了感应器6。其他与附图1相同。

本实用新型的所述冷凝器12为螺旋管式冷凝器，在螺旋管式冷凝器的壳体12-1内设置有螺旋通流管12-2，所述螺旋通流管12-2外设置有冷凝片12-3。所述螺旋管式冷凝器的螺旋通流管12-2在壳体12-1内沿壳体12-1的中心轴螺旋盘绕，且在径向设置有多层盘绕的螺旋通流管12-2。

本实用新型的冷凝片12-3有两种形式，其中一种如图3和图4所示，冷凝片12-3为环片状，若干冷凝片12-3间隔套设在螺旋通流管12-2上。另一种冷凝片为矩形片状，多个冷凝片成发散状围绕壳体12-1的中心轴布置，所述螺旋通流管12-2依次穿过各冷凝片。

使用了本实用新型的螺旋管式冷凝器后，其流通截面积比现有的板式冷凝器提高了210倍，冷凝面积提高了30.9倍。