[实用新型]一种化学液相沉积装置

权利要求书

1.一种化学液相沉积装置，其特征在于，包括炉体(3)和真空系统(1)；所述炉体(3)左面的真空系统(1)与炉体(3)的顶端连接，炉体(3)的上部分别连接有冷凝器(12)、冷却水进水管(13)和出水管(14)，炉体(3)的中部设有引电引出法兰(9)，炉体(3)的底部设置底座(10)，底座(10)上放置被加热制品(5)，被加热制品(5)的中心置有发热体(4)，被加热制品(5)的外围设有感应器(6)，感应器(6)与变频电源(8)连接，在炉体(3)的下部内置有含碳元素低分子化合物液体(11)，它通过管路接入液体补给器(2)，水箱(7)通过管路与炉体(3)上部的的冷凝器(12)、冷却水进水管(13)和出水管(14)分别连接进行水循环；所述冷凝器（12）为螺旋管式冷凝器，在螺旋管式冷凝器的壳体（12-1）内设置有螺旋通流管（12-2），所述螺旋通流管（12-2）外设置有冷凝片（12-3）。

2.根据权利要求1所述的化学液相沉积装置，其特征在于，所述螺旋管式冷凝器的螺旋通流管（12-2）在壳体（12-1）内沿壳体（12-1）的中心轴螺旋盘绕，且在径向设置有多层盘绕的螺旋通流管（12-2）。

3.根据权利要求1所述的化学液相沉积装置，其特征在于，所述冷凝片（12-3）为环片状，若干冷凝片（12-3）间隔套设在螺旋通流管（12-2）上。

4.根据权利要求1所述的化学液相沉积装置，其特征在于，所述冷凝片（12-3）为矩形片状，多个冷凝片成发散状围绕壳体（12-1）的中心轴布置，所述螺旋通流管（12-2）依次穿过各冷凝片。