[实用新型]一种制造超长厚壁石英管的装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种制造厚壁石英管的装置，具体涉及一种制造超长厚壁石英管的装置。

背景技术

厚壁石英管被广泛应用于半导体和光纤等制造领域。目前，在制造这种厚壁石英管的过程中，通常采用的方法是：先将石英砂加入到石墨坩埚中，然后在真空，或是氦或氢等惰性气体，或是还原性气体中对石墨坩埚进行加热，使石英砂熔化，并将熔化后的石英冷却，最后得到管状的石英玻璃。

现有技术中，制造厚壁石英管的装置，包括石墨坩埚、芯杆、加热器、绝热组件和熔炉。石墨坩埚设于熔炉内部，芯杆设于石墨坩埚中间，加热器设于石墨坩埚外围，以对石墨坩埚进行加热，绝热组件设在石墨坩埚、芯杆和加热器的外围，起保温作用，熔炉设有进气口和真空抽气口，通过进气口可以向熔炉内注入惰性气体或还原性气体，通过真空抽气口可以将熔炉内部气体抽出，从而使其处于真空状态。其优点是：此装置实现上述石英管的制造方法。其缺点是：此装置的石墨坩埚不能相对于加热器上下移动，使得石墨坩埚受加热的长度取决于加热器的长度，同时，石墨坩埚受加热的长度又决定着所制造出厚壁石英管的最大长度，这样，此装置所制造出的厚壁石英管的最大长度就取决于加热器的长度。而现在的加热器主要由石墨制成，因受加热器的制造设备和原材料长度所限，加热器长度无法做的很长，从而就导致此种装置无法制造出长度较长的厚壁石英管。

发明内容

本实用新型的目的是要解决现有技术中无法制造出长度较长的厚壁石英管的缺陷，提供一种制造超长厚壁石英管的装置。

为实现上述目的，本实用新型所采用的技术方案如下： 

一种制造超长厚壁石英管的装置，包括熔炉、石墨坩埚、芯杆、加热器和绝热组件，所述石墨坩埚设于熔炉内部，所述芯杆设于石墨坩埚中间，所述加热器设于石墨坩埚的外围，所述绝热组件设于熔炉和加热器之间，其特征在于：该装置还包括升降机构，所述升降机构设于石墨坩埚的底部，该升降机构支撑着石墨坩埚，并使石墨坩埚相对于加热器上下移动。

所述升降机构包括升降平台、移动杆、支架、导轨滑块、导轨、丝杠、丝杠螺母和电机，所述升降平台与所述移动杆的顶端固定连接，所述支架与移动杆的底端固定连接，所述导轨滑块固定在支架上，该导轨滑块套设于导轨，所述丝杠螺母固定于支架的端部，该丝杠螺母套设于丝杠，所述丝杠与电机通过联轴器固定连接。

所述升降平台顶部设有绝热层，该绝热层与石墨坩埚接触配合。

所述石墨坩埚的长度大于所述加热器的长度。

所述绝热组件的底部在与石墨坩埚对应处设有缺口。

所述熔炉的底部在与移动杆配合处设有密封装置。

与现有技术相比，本实用新型的优点在于：升降机构支撑着石墨坩埚，并使石墨坩埚相对于加热器上下移动，这样在加热器长度一定的情况下，使石墨坩埚受热长度增加，从而就能制造出长度更长的石英管。

附图说明

图1为现有技术中的制造厚壁石英管的装置的纵向剖视图；

图2为本实用新型实施例的整体结构示意图。

具体实施方式

为了更好地理解本实用新型相对于现有技术所作出的改进，在对本实用新型的具体实施方式详细说明之前，先对背景技术部分所提到的现有技术结合附图加以说明。

如图1所示，现有技术中的制造厚壁石英管的装置，包括熔炉1、石墨坩埚2、芯杆3、加热器4和绝热组件5，石墨坩埚2设于熔炉1内部，芯杆3设于石墨坩埚2中间，加热器4设于石墨坩埚2的外围，绝热组件5设于熔炉1和加热器4之间。熔炉1的顶部设有进气口12，熔炉1的侧壁设有真空抽气口13，熔炉1的侧壁在与加热器的电极配合处设有密封绝缘装置14。

对于此种制造厚壁石英管的装置，石墨坩埚2不能相对于加热器4上下移动，使得石墨坩埚2受加热的长度取决于加热器4的长度，同时，石墨坩埚2受加热的长度又决定着所制造出厚壁石英管的最大长度，这样，此装置所制造出的厚壁石英管的最大长度就取决于加热器4的长度。

本实用新型的一种实施方式，就是针对现有技术中的石墨坩埚2不能相对于加热器4上下移动作出的改进。下面结合附图对本实用新型的一种实施方式作出详细说明。