[实用新型]一种制造超长厚壁石英管的装置有效
| 申请号： | 201320622304.2 | 申请日： | 2013-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN203530127U | 公开（公告）日： | 2014-04-09 |
| 发明（设计）人： | 杨晓彬 | 申请（专利权）人： | 上海宗和材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C03B20/00 | 分类号： | C03B20/00 |
| 代理公司： | 上海欣创专利商标事务所 31217 | 代理人： | 顾大平 |
| 地址： | 202164 上海市崇*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 制造 超长 石英管 装置 | ||
1.一种制造超长厚壁石英管的装置，包括熔炉（1）、石墨坩埚（2）、芯杆（3）、加热器（4）和绝热组件（5），所述石墨坩埚（2）设于熔炉（1）内部，所述芯杆（3）设于石墨坩埚（2）中间，所述加热器（4）设于石墨坩埚（2）的外围，所述绝热组件（5）设于熔炉（1）和加热器（4）之间，其特征在于：该装置还包括升降机构（6），所述升降机构（6）设于石墨坩埚（2）的底部，该升降机构（6）支撑着石墨坩埚（2），并使石墨坩埚（2）相对于加热器（4）上下移动。
2. 根据权利要求1所述的制造超长厚壁石英管的装置，其特征在于：所述升降机构（6）包括升降平台（61）、移动杆（62）、支架（63）、导轨滑块（64）、导轨（65）、丝杠（66）、丝杠螺母（67）和电机（68），所述升降平台（61）与所述移动杆（62）的顶端固定连接，所述支架（63）与移动杆（62）的底端固定连接，所述导轨滑块（64）固定在支架（63）上，该导轨滑块（64）套设于导轨（65），所述丝杠螺母（67）固定于支架（63）的端部，该丝杠螺母（67）套设于丝杠（66），所述丝杠（66）与电机（68）通过联轴器固定连接。
3. 根据权利要求2所述的制造超长厚壁石英管的装置，其特征在于：所述升降平台（61）顶部设有绝热层（611），该绝热层（611）与石墨坩埚（2）接触配合。
4. 根据权利要求1所述的制造超长厚壁石英管的装置，其特征在于：所述石墨坩埚（2）的长度大于所述加热器（4）的长度。
5. 根据权利要求1所述的制造超长厚壁石英管的装置，其特征在于：所述绝热组件（5）的底部在与石墨坩埚（2）对应处设有缺口（51）。
6. 根据权利要求1所述的制造超长厚壁石英管的装置，其特征在于：所述熔炉（1）的底部在与移动杆（62）配合处设有密封装置（11）。
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