[实用新型]一种光刻胶离心涂布机用卡盘有效
| 申请号： | 201320620146.7 | 申请日： | 2013-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN203520010U | 公开（公告）日： | 2014-04-02 |
| 发明（设计）人： | 胡泰祥 | 申请（专利权）人： | 元茂光电科技（武汉）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 张大威 |
| 地址： | 430074 湖北省*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 离心 涂布机用 卡盘 | ||
【权利要求书】：
1.一种光刻胶离心涂布机用卡盘，其特征在于，包括卡盘本体（1）、吸嘴（3），所述卡盘本体具有卡盘真空通道（2），所述吸嘴具有吸嘴真空通道（32）；所述吸嘴设置在所述卡盘本体上，所述吸嘴真空通道与所述卡盘真空通道相通；所述吸嘴还设置有吸盘（31），所述吸盘具有凹面，所述凹面与所述吸嘴真空通道相通。
2.根据权利要求1所述的光刻胶离心涂布机用卡盘，其特征在于：所述吸嘴为硅胶制成的吸嘴。
3.根据权利要求2所述的光刻胶离心涂布机用卡盘，其特征在于：所述吸嘴还设置有第一颈部。
4.根据权利要求3所述的光刻胶离心涂布机用卡盘，其特征在于：所述吸嘴还设置有第二颈部。
5.根据权利要求1所述的光刻胶离心涂布机用卡盘，其特征在于：所述吸嘴插入所述卡盘本体。
6.根据权利要求1所述的光刻胶离心涂布机用卡盘，其特征在于：所述卡盘本体为聚醚醚酮树脂制成的卡盘。
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