[实用新型]一种蒸镀喷头及蒸镀设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及蒸镀领域，特别是涉及一种蒸镀喷头及蒸镀设备。

背景技术

蒸镀是在真空环境中，将材料加热并镀到基片上称为真空蒸镀，或叫真空镀膜。蒸镀是将待成膜的物质置于真空中进行蒸发或升华，使之在工件或基片表面析出的过程。

在OLED（Organic Light-Emitting Diode，有机发光二极管）生产中，经常要使用到蒸镀设备，现有的OLED蒸镀设备主要分为线源蒸镀和点源蒸镀。由于线源蒸镀材料利用率高，所以在高世代线面板制造中，一般都采用线源蒸镀的方式。线源蒸镀一半要分为线源坩埚加热部，线源材料传输部，线源材料喷头，如专利CN200410040581.8。类似的坩埚设计开始应用于试生产设备中。现有的蒸镀设备都是在传输腔壁上进行加热，而喷嘴处不进行加热，此时，有机蒸汽在喷嘴处容易凝结，从而堵塞喷嘴。在OLED生产过程中，经常会发生喷头堵塞，导致蒸镀均一性受到影响，从而影响到产品质量。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是，现有的蒸镀喷头容易产生堵塞，导致蒸镀均一性受到影响，从而影响到产品质量。

为解决上述技术问题，本实用新型的实施例提供一种蒸镀喷头，包括：

用于传输蒸汽的传导桶；

至少一个喷嘴，设置在所述传导桶上；

用于检测传导桶温度的温度检测装置，设置在所述传导桶上；

用于加热喷嘴和传导桶的加热装置，设置在所述喷嘴和传导桶上。

进一步地，还包括液体冷却装置，所述液体冷却装置设置在所述喷嘴的周围。

进一步地，所述液体冷却装置采用循环液体。

进一步地，所述循环液体包括水、油或乙二醇溶液中的一种或多种。

进一步地，所述加热装置包括红外加热器、微波加热器、电阻加热器中的一种或多种。

进一步地，所述加热装置包括加热丝，所述加热丝缠绕在所述喷嘴的外周。

进一步地，所述喷嘴线形排列在传导桶上。

本实用新型还提供一种蒸镀设备，包括所述的喷头。

进一步地，还包括控制单元，所述控制单元分别与温度检测装置、加热装置相连接，用于接收温度检测装置获取的传导桶的温度信息，以及根据获取的温度信息来控制加热单元对传导桶和喷嘴加热。

进一步地，所述控制单元还与液体冷却装置相连接，用于向液体冷却装置发送冷却信号。

本实用新型的上述技术方案的有益效果如下：本实用新型的蒸镀喷头在喷嘴和传导桶上设有加热装置，根据温度检测装置获取的传导桶的温度，来控制喷嘴和传导桶的温度，可以防止喷嘴堵塞。一旦发生喷嘴阻塞，可以通过加热喷嘴和传导桶，使有机物挥发。相比较于现有技术只对传导桶的腔壁进行加热，而喷嘴位置处的温度较低，使得经过喷嘴处的有机气体凝结，容易造成喷嘴堵塞。

附图说明

图1为本实用新型提供的一种实施例蒸镀喷头的结构示意图；

图2为本实用新型一种实施例的喷嘴安装结构示意图；

图3为图1的俯视图；

图4为图1的截面图；

图5为本实用新型一种实施例的蒸镀设备的结构示意图。

具体实施方式

为使本实用新型要解决的技术问题、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图及具体实施例进行详细描述。

如图1所示，为本实用新型提供的一种实施例的蒸镀喷头的结构示意图，包括：

用于传输蒸汽的传导桶101；

至少一个喷嘴102，设置在所述传导桶101上；

用于检测传导桶温度的温度检测装置103，设置在所述传导桶101上；

用于加热喷嘴和传导桶的加热装置104，设置在所述喷嘴102和传导桶101上。

本实用新型的蒸镀喷头在喷嘴和传导桶上设有加热装置，根据温度检测装置获取的传导桶的温度，来控制喷嘴和传导桶的温度，可以防止喷嘴堵塞。一旦发生喷嘴阻塞，可以通过加热喷嘴和传导桶，使有机物挥发。相比较于现有技术只对传导桶的腔壁进行加热，而喷嘴位置处的温度较低，使得经过喷嘴处的有机气体凝结，容易造成喷嘴堵塞。