[实用新型]一种蒸镀喷头及蒸镀设备

权利要求书

1.一种蒸镀喷头，其特征在于，包括： 

用于传输蒸汽的传导桶； 

至少一个喷嘴，设置在所述传导桶上； 

用于检测传导桶温度的温度检测装置，设置在所述传导桶上； 

用于加热喷嘴和传导桶的加热装置，设置在所述喷嘴和传导桶上。 

2.根据权利要求1所述的蒸镀喷头，其特征在于，还包括液体冷却装置，所述液体冷却装置设置在所述喷嘴的周围。 

3.根据权利要求2所述的蒸镀喷头，其特征在于，所述液体冷却装置采用循环液体。 

4.根据权利要求1-3任何一项所述的蒸镀喷头，其特征在于，所述加热装置包括红外加热器、微波加热器、电阻加热器中的一种或多种。 

5.根据权利要求4所述的蒸镀喷头，其特征在于，所述加热装置包括加热丝，所述加热丝缠绕在所述喷嘴的外周。 

6.根据权利要求1-3任何一项所述的蒸镀喷头，其特征在于，所述喷嘴线形排列在传导桶上。 

7.一种蒸镀设备，其特征在于，包括如权利要求2或者3所述的喷头。 

8.根据权利要求7所述的蒸镀设备，其特征在于，还包括控制单元，所述控制单元分别与温度检测装置、加热装置相连接，用于接收温度检测装置获取的传导桶的温度信息，以及根据获取的温度信息来控制加热单元对传导桶和喷嘴加热。 

9.根据权利要求8所述的蒸镀设备，其特征在于，所述控制单元还与液体冷却装置相连接，用于向液体冷却装置发送冷却信号。