[实用新型]一种蒸镀坩埚有效
| 申请号： | 201320599658.X | 申请日： | 2013-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN203451609U | 公开（公告）日： | 2014-02-26 |
| 发明（设计）人： | 赵德江;张家奇 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 孟宪功 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 坩埚 | ||
1.一种蒸镀坩埚，其特征在于，包括：容置装置、坩埚盖、阻挡装置；
其中，所述坩埚盖安装于所述容置装置的开口处且所述坩埚盖设有蒸发孔；所述阻挡装置设于所述蒸发孔的下方位置，且所述阻挡装置的中心穿过有轴，所述轴安装于所述容置装置的内壁且与所述坩埚盖所处平面平行。
2.如权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述阻挡装置在所述坩埚盖上的投影区域覆盖所述蒸发孔的面积区域。
3.如权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述阻挡装置为实心金属材料的阻挡装置。
4.如权利要求3所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述阻挡装置为表面光滑的阻挡装置。
5.如权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述阻挡装置为球形，所述轴穿过所述阻挡装置的球心。
6.如权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述阻挡装置为椭球形，所述椭球形的阻挡装置的赤道半径相等，所述轴与所述阻挡装置的赤道半径重合或者所述轴与所述阻挡装置的极半径重合。
7.如权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述阻挡装置为圆柱形，所述轴与所述阻挡装置的轴心线重合。
8.如权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述阻挡装置为锥形，所述轴与所述阻挡装置的轴心线重合。
9.如权利要求1～8任一项所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述容置装置顶部的横截面在所述容置装置底面的投影区域小于所述容置装置底面的面积区域。
10.如权利要求1～8任一项所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述容置装置为钛合金圆桶。
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