[实用新型]放电离子化电流检测器

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种放电离子化电流检测器，在检测器主体内通过放电使等离子体生成气体电离生成等离子体，利用来自此等离子体的激发光，使从管柱供给到检测器主体内的试样气体中的试样成分离子化，由此检测出离子化电流。 

背景技术

作为应用于气相色谱仪等的分析装置的检测器的一例，已知有放电离子化电流检测器。采用此种检测器的话，将试样气体和等离子体生成气体供给到检测器主体内，使等离子体在检测器主体内生成，使试样气体中的试样成分离子化，且使检测器主体内的气体从排气通路排出(例如，参照下述专利文献1)。 

图2是表示现有的放电离子化电流检测器的构成例的概略图。在该放电离子化电流检测器中具有：中空状的检测器主体101；向检测器主体101内供给试样气体的管柱102；向检测器主体101内供给等离子体生成气体的等离子体生成气体供给通路103；以及排出检测器主体101内的气体的排气通路104。 

检测器主体101上设置有等离子体生成用电极111和离子化电流检测用电极112。从等离子体生成气体供给通路103向检测器主体101供给的等离子体生成气体，通过等离子体生成用电极111的放电被电解，在检测器主体101内产生等离子体。从管柱102向检测器主体101内供给的试样气体中的试样成分，通过自等离子体的激发光而被离子化，通过在其与离子化电流检测用电极112之间电子交换而产生离子化电流。 

排气通路104由例如第一排气通路141和第二排气通路142构成。第一排气通路141上设置有对于通过此排气通路141的气体的阻尼105，第二排气通路142上设有对于通过此排气通路142的气体的阻尼106。各个阻尼105、106可以是固定阻尼，也可以是可变阻尼。 

第一排气通路141相对于离子化电流检测用电极112从等离子体生成气体供给通路103侧(图2的上方侧)排出检测器主体101内的气体。另一方面，第二排气通路142相对于离子化电流检测用电极112从等离子体生成气体供给通路103侧的相反侧(图2的下 方侧)即管柱102侧排出检测器主体101内的气体。 

因此，根据对于通过第一排气通路141的气体的阻尼105与对于通过第二排气通路142的气体的阻尼106的比值(阻尼比值)，在检测器主体101内(离子化电流检测用电极112的周围)的等离子体生成气体的浓度发生变化。该放电离子化电流检测器，即所谓的浓度型检测器，具有检测器主体101内的等离子体生成气体的浓度越高，检测灵敏度越低的特性。因此，通过设定阻尼105与阻尼106的阻尼比以使检测器主体101内的等离子体生成气体的浓度为必要的最低限度，从而使高灵敏度的检测成为可能。 

等离子体生成气体供给通路103上设有例如比例控制阀107。通过调整该比例控制阀107的开度，能调整供给到检测器主体101内的等离子体生成气体的流量。在等离子体生成气体供给通路103的比例控制阀107和检测器主体101之间设有阻尼108，在该阻尼108的上游侧设有压力传感器109。 

由压力传感器109检测的等离子体生成气体的压力值被输入控制部110。控制部110根据由压力传感器109输入的压力值和阻尼108的阻尼值，测量等离子体生成气体的流量，调整比例控制阀107的开度以使得该流量为一定值。 

现有技术文献 

专利文献 

专利文献1：日本特开2011-158357号公报 

实用新型内容

实用新型所要解决的课题 

如上所述，在排出检测器主体101内的气体的排气通路104上设置有阻尼105和阻尼106的结构中，检测器主体101内产生较大的压力。但是，由于检测器主体101内的压力不是一定的，因此具有不能精确地计算出管柱102中的试样气体的流量(柱流量)、线速度(管柱线速度)这样的问题。 

例如，采用可变阻尼作为阻尼105、106的情况下，根据各个阻尼105、106的阻尼值或阻尼比值的变化，检测器主体101内的压力变化。由于根据管柱102的进口压力和出口压力计算柱流量和管柱线速度，在作为管柱102的出口压力的检测器主体101内的压力不明确的情况下，柱流量和管柱线速度不能精确地计算出来。